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本文篇幅较长,分为上下两篇,上篇详见基于Yolo算法的单晶硅晶线检测系统
3.2.2等径生长过程图像预处理
当扩肩生长过程中晶柱达到预设直径,保持晶体生长速度,控制晶体稳定生 长,即可调整单晶炉参数,进入等径生长过程。通过调整单晶炉转轴速度和炉内 温度,能够保证单晶硅柱保持直径在误差允许范围内生长。此阶段的单晶炉参数 控制非常重要,如果发生问题可能会导致单晶硅柱产生内部缺陷。
单晶硅无位错生长需要保证两个较为重要的因素,第一是单晶硅径向的热应 力,第二是单晶炉内部可能存在的微小颗粒。晶体生长过程,随着半径增大,温 度梯度呈现指数变化,当晶体逐渐生长离开固液交融界面,单晶硅柱的外部冷却 速度较快,而中心温度下降较慢,可能会加剧晶体内部结构热应力加剧,当应力 超过晶体内部的临界压力时,会导致晶体位错缺陷[43