MosFET/FinFET/GAFET ——鳍式晶体管还能走多远

最新推荐文章于 2025-02-13 17:03:10 发布
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本文探讨了MosFET和FinFET的工作原理、优缺点，以及FinFET的发展前景，包括向GAFET结构的演进，以应对芯片制程的微缩挑战。

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MosFET/FinFET/GAFET ——鳍式晶体管还能走多远

之前的文章介绍了一下关于芯片7nm/5nm/2nm制程。
以及有关光刻机的相关文章。

先进工艺下使用的FET大多为finFET。

目前广泛使用的FET（场效应晶体管）分为mosFET和finFET，finFET又可成为鳍式晶体管或者3D晶体管，mosFET可称为平面晶体管。

在网上找了一张mosFET和finFET的示意图，以此说明两者的区别。
mosfet和finfet
上图第一行为平面式mosFET，第二行为finFET，外状酷似鱼鳍。
下面主要分四部分介绍：
1.mosFET管工作原理
2.finFET工作原理
3.mosFET和finFET的优缺点
4.finFET发展前景

1、mosFET工作原理
在这里插入图片描述
从网上找了一张P衬底N阱工艺 mosFET原理图。

Q1：mosFET有几个端点？
mosFET有四个端点

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