MosFET/FinFET/GAFET ——鳍式晶体管还能走多远
之前的文章介绍了一下关于芯片7nm/5nm/2nm制程。
以及有关光刻机的相关文章。
先进工艺下使用的FET大多为finFET。
目前广泛使用的FET(场效应晶体管)分为mosFET和finFET,finFET又可成为鳍式晶体管或者3D晶体管,mosFET可称为平面晶体管。
在网上找了一张mosFET和finFET的示意图,以此说明两者的区别。
上图第一行为平面式mosFET,第二行为finFET,外状酷似鱼鳍。
下面主要分四部分介绍:
1.mosFET管工作原理
2.finFET工作原理
3.mosFET和finFET的优缺点
4.finFET发展前景
1、mosFET工作原理
从网上找了一张P衬底N阱工艺 mosFET原理图。
Q1:mosFET有几个端点?
mosFET有四个端点