氮化物 ITO-Ag复合薄膜/Si—P(111)和Si—P(100)两种不同Si片做基底制备TiNx薄膜/立方氮化硼聚晶(PcBN)复合物

氮元素的化学性质非常稳定，但在一些特殊条件下，它可以与很多元素形成氮化物，在这些氮化物中，过渡金属氮化物——氮化钛(TiN)成为了国内外研究的焦点。氮化钛是有着诱人的金黄色、熔点高、硬度大、化学稳定性好、与金属的湿润小的结构材料、并具有较高的导电性和超导性，可应用于高温结构材料和超导材料。

1. 氮化钛的结构及性能     TiN具有典型的NaCl型结构，属面心立方点阵，面心立方的顶部是氮原子，钛原子位于面心立方的(1/2,0,0)空间位置。TiN是非化学计量化合物，其稳定的组成范围为TiN0.6~TiN1.16，氮的含量可以在一定的范围内变化而不引起TiN结构的变化。TiN粉末一般呈黄褐色，超细TiN粉末呈黑色，而TiN晶体呈金黄色。TiN的晶格常数为a=4.23 nm，TiC的晶格常数为a=4.238 nm，TiO的晶格常数为a=4.15 nm，这三种物质的晶格参数非常接近，所以TiN分子中的氮原子可以被氧、碳原子以任意比取代形成固溶体，氮化钛的理化性质由氮元素的含量来决定，当氮元素含量减少时，氮化钛的晶格参数反而增大，硬度也会有显微的增大，但氮化钛的抗震性随之降低。

氮化钛的物理性质：熔点2950.6～3205.8℃，线膨胀系数为5.712～7.053×106(1/K)(25℃)，密度为5.435～5.447g/cm3，热导率为25.081(W·m-1·K-1)(300～2000℃)，莫氏硬度为8～9。一般情况下&#x