版图学习汇总四

文章讲述了集成电路设计中的关键步骤,包括布局布线的原则,如先布局后布线,重要器件的保护,以及DRC和LVS检查。强调了匹配和隔离技术,如相同单元的匹配,排列对称,虚拟陪衬和隔离线屏蔽。还提到了闩锁效应的预防,如使用保护环,并指出天线效应和ESD防护的解决方案。最后,介绍了匹配规则以优化设计。

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布局布线:先布局,过drc再过线。重要器件优先考虑,需加保护环,远离噪音源和大功率器件放置。(从底层到top层,每层都要drc,lvs检查)匹配需要预留线的位置,考虑好出pin的位置。

基本:上p管下n管

匹配:(涉及器件有:mos管,电阻,电容,三极管)

1.相同单元

2.相邻摆放(满足drc情况下尽可能密集摆放)

3.排列对称(满足中心坐标对称--共质心版图--减小应力诱发失配)

4.虚拟陪衬(dummy器件避免边缘匹配器件收到刻蚀或其他影响)

5.互连寄生

6.隔离线屏蔽(匹配电阻,电容需采用放置在nwell中,避免噪音感染,匹配三极管需单独出环,环起保护作用,从上拉线接avs,avd)

闩锁效应(latch-up)

由于寄生效应引起的电源和地的短路,从而产生集成电路的一种不可恢复状态。

版图中需注意:

1.保护环将晶体管包围

2.同类型晶体管放同一保护环中

3.衬底保护环上的接触孔覆盖均匀数量多距离少

4.衬底或阱区与晶体管源端电势不同的区域,极可能存在异常大电流ESD结构晶体管附近尤其注意闩锁效应。(nwell的rule通常较大,仔细检查)

 

slot(宽金属开槽)

antenna(天线效应)

工艺制造过程中,离子刻蚀或扩散会与晶体管的栅氧链接的不同金属上产生感应电荷,当随链接到栅氧上金属结构还会逐渐增长,金属上所积累的感应电荷达一定程度,可能会对晶体的薄层栅氧造成不可恢复的损坏。

版图解决方案:

1.将靠近栅氧端链接的金属通过顶层金属跳线链接

2.对可能引起天线效应的晶体管附近添加二极管来消除天线效应的影响

 

ESD(静电泄放)

 

采用较大尺寸的器件(带来的问题)——寄生参数随之变大,尽可能多打孔减少电阻。

 

匹配规则:

交叉器件AABB --ABAB

共质心对称ABAB --ABBA

共心匹配

ACCB--DBCA

DABD--CADB

DBAD--BDAC

BCCA--ACBD

 

 

共质心版图是单步减小大范围应力诱发失配最有效的技术。下图中的ABAB结构两个器件的质心没有完全对准,应避免使用。ABBA结构虽然需要加Dummy器件,但其可以很好的减小应力诱发失配的影响。   当很多多晶电阻并排摆放时,在阵列边缘的电阻条会受到刻蚀速率变化的影响,电阻朝外的侧壁会很快刻蚀玩,朝内的边刻蚀速率很慢,中间的电阻没有向外的边缘,因此最终宽度会比其他电阻稍大。Dummy resistor添加到匹配电阻阵列的两端,以保证刻蚀的一致性。Dummy resistor的宽度可以比它们所保护的电阻小很多,但是dummy resistor邻近电阻的间距必须与阵列中电阻的间距匹配。把dummy resistor接地可以消除所有静电调制的可能性。   集成电路布局版图注意事项的详细资料说明 更改原理图后一定记得check and save 完成每个cell后要归原点 器件的个数是否原理图一至(有并联的管子时注意);各器件的尺寸是否原理图一致。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画器件,(器件之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。对每个器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线必须先有考虑   如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有外层cell 连起来,尽量在布局低层cell时就连起来   尽量用最上层金属接出PIN 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间 金属连线不宜过长;也不能太宽。太长或是太宽的时候由于金属应力的存在,工艺做的时候会发生形变,容易起翘 电容一般最后画,在空档处拼凑,电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大,可以多个电容并联 小尺寸的mos管孔可以少打一点 管子的沟道上尽量不要走线 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属,栅上的孔最好打在栅的中间位置,一般打孔最少打两个,Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大。但如果contact阻值远大于diffusion则不适用。传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值。   连线接头处要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。   摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从器件上跨过去。   Text,PA等层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造。   芯片内部的电源线/地线ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。   PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。   Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。   NWELL有一定的隔离效果,但对于高频的RF电路,采用深N阱效果较好。   上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD,下拉N管的G/S接VSS,D接PAD,P/N管起二极管的作用。   关于匹配电路,放大电路不需要下面的电流源匹配。但是对于差分电路,放大管要相互匹配,电流源也要相互匹配。使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。   匹配分为横向,纵向,中心匹配。   尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格,4个以上的匹配管子,局部整体都匹配的匹配方式最佳。   在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距。
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