half-node是对工艺的一种定义方法。和它相关的概念是parent node。 从字面上理解half-node,意思就是在两个parent node的 中间位置。
parent node就是我们经常说的180nm、130nm、90nm、65nm、45nm、32nm、22nm等工艺节点。大家可以看到这些数字的排列比较有规律。
half-node包括下列工艺节点:110nm、80nm、55nm、40nm、28nm、18nm。除了180nm的parent node, 没有对应的half-node外,其它工艺都有对应的half-node。
half-node就是不改变电路设计的情况下,利用光刻 技术缩小chip的die size, 即shrink。这对于已经量产的芯片降低成本、减小功耗都有非常重要的意义。
但是如果芯片的设计涉及第三方IP,尤其是模拟IP,可能shrink会遇到麻烦。