本文详细探讨了六轴MEMS-IMU（包括加速度计和陀螺仪）的误差来源，如零漂、刻度因数、非敏感轴互耦误差、启动漂移、随机噪声和加速度灵敏度。分析了单独误差和集成误差，包括安装非正交性误差和杆臂效应误差。同时，介绍了基于器件误差来源和标定补偿的误差模型，涉及温度漂移、非线性误差、安装误差和互耦误差等方面。
1. IMU的数据和误差模型
IMU包含了三个单轴的加速度计和三个单轴的陀螺， 加速度计检测物体在载体坐标系（IMU本身的坐标系）独立三轴的加速度信号，而陀螺检测载体相对于导航坐标系（z轴为当地水平坐标系，x指北，y指东）的角速度信号，测量物体在三维空间中的角速度和加速度，并以此解算出物体的姿态。
这里主要考虑六轴的MEMS-IMU，主要包括三轴加速度计和三轴陀螺仪，不考虑磁力计。
l 对于MEMS-IMU，一般是载体相对于导航坐标系的角速率和载体坐标系统独立三轴的加速度信号
l 对于高精度的陀螺仪（如光纤陀螺）和加速度计，为了不遗漏采样信息，通常采用角增量和加速度增量的信息输出
l 缓慢变化的加速度偏差（ba）、陀螺仪偏差（bg）（随机游走，一阶马尔科夫过程，本状态的概率只取决于上一个状态）
l 噪声（高斯白噪声）
l 时间间隔△t
1.2.1 单独误差
MEMS 加速度计和陀螺的误差项基本相同，陀螺多了一项加速度敏感项，下面针对于每项进行分析。
（1）零漂
零漂是指陀螺仪没有任何转动情况下的平均输出，也就是与真实值的偏差。对于一个常量偏差 ，当进行积分时会导致一个随时间线性增长的角度误差 ，可以通过陀螺仪完全静止的情况下，取其一段长时间输出的平均值得到，并通过简单地在输出中减去来进行补偿。
（2）刻度因数
也叫标度因数，是指传感器的输出（电流/电压）和输入（加速度、角速率）之间的比值。由于 MEMS 加速度计和 MEMS 陀螺通过刻度因数进行信号转换，因此刻度因数的误差将直接带来测量的系统偏差。刻度因数的误差分为非线性误差和温度漂移两类。加速度计难以通过实验的方法评估其刻度因数与温度的关系，这是由于离心机通常不带控温装置；而陀螺可以通过温控转台得到刻度因数的温度系数。
（3）非敏感轴互耦误差
非敏感轴互耦误差指的是传感器非敏感轴上有输入时产生的误差输出。产生非敏感轴互耦
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