光学表面频段误差（低中高频误差）

万叶叶

已于 2024-11-13 09:47:07 修改

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分类专栏：光学检测/加工文章标签：学习几何学

于 2024-10-30 11:19:22 首次发布

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#对于光学表面质量，与理想光学平面之间的误差，我们常用面型误差，表面粗糙度来表征；本文将表面质量使用不同频段误差来表达，理解解释不同的频段误差是什么，对成像质量有什么影响，以及怎么去测试的#

一、频段理解和划分

早期研究中将表面频段误差粗略的划分为初级像差表示的低频误差和粗糙度误差，随着光学研究的发展，对光学系统和应用需求的提高，相关研究的学者将频段误差进一步划分为低频(Figure)、中频(Mid-Spatial Frequency， MSF)和高频(High Spatial Frequency，HSF)三部分，依然统称为光学表面频段误差。

那么这些频段误差是怎么来的呢？

由于光学元件本身表面缺陷和实际加工过程中在元件表面残留制造残差，会导致光学元件表面矢高的物理分布与光学设计理论面形存在不同程度的偏差，这些偏差在空间分布上体现为不同的空间频率，根据表面分布空间频率的不同分为不同频段，统称为“光学表面空间频段误差”。

1、基于光学表面 PSD 的分析将频段误差的大致划分：

在该划分体系中，认为低频误差对应于传统像差，中、高频误差采用散射理论描述，并且根据散射角度大小区分中、高频误差。同时给出了各频段误差对系统点扩散函数的影响。

2、在三个频段划分的基础上，德国蔡司公司在研究光刻物镜制造技术的过程中，指出了不同频率误差对激光刻蚀系统性能的不同的影响情况，并根据其使用特征给出了频段误差区域的分划标准：

相对于 Harvey 的研究，蔡司公司进一步建立了频段误差与实际成像系统的影响，而不只是分析点扩散函数等系统理想性质；低频误差与 Harvey 的研究结果一致， 中频误差在光刻系统中的散射会导致光刻聚焦面产生耀斑，并影响对比度，而高频误差影响光刻物镜的反射率(透射系统则是透过率)。

光学表面质量评估中的频段划分并没有一个统一的标准，因为不同的光学元件尺寸和不同类型的光学系统性能要求各异。但是，可以根据空间频率将光学表面频段误差粗略地划分为低频误差、中频误差和高频误差。以下是一些具体的划分标准：

1. 低频误差（Low Spatial Frequency Error）：

低频误差通常指的是空间周期长度较长的误差，不同的研究和应用中有不同的划分标准。例如，美国劳伦斯·利弗莫尔国家重点实验室在研制用于激光惯性约束聚变工程的国家点火装置激光器的过程中，给出的低频误差的空间周期长度为 L >33 mm。中国科学院长春光学精密机械与物理研究所的曾雪锋博士的研究中，将光学表面频段误差的划分与光学元件的口径D联系起来，定义低频误差的空间周期长度为L >1/12D。

2. 中频误差（Mid Spatial Frequency Error, MSFSE）：

中频误差位于低频误差和高频误差之间。美国劳伦斯·利弗莫尔国家重点实验室给出的中频误差的空间周期长度为 33mm≥L≥0.12mm。曾雪锋博士的研究中，中频误差为 1/12D>L>1/128D。

3. 高频误差（High Spatial Frequency Error, HSFSE）：

高频误差指的是空间周期长度较短的误差，通常与表面的微观特征相关。美国劳伦斯·利弗莫尔国家重点实验室给出的高频误差的空间周期长度为 L<0.12mm。曾雪锋博士的研究中，高频误差为L<1/128D。

这些划分标准提供了一个大致的指导，但具体的划分可能需要根据具体的应用和光学元件的特性进行调整。

二、频段误差影响

低频误差影响光学系统的波前像差和系统杂散光，中频误差在光刻系统中的散射会导致光刻聚焦面产生耀斑，并影响对比度，而高频误差影响光刻物镜的反射率(透射系统则是透过率)。

在光学表面质量的评估中，各个频段的特征对光学系统性能的影响如下：

1. 低频误差：

低频误差通常对应于光学元件的面形误差，它们影响光学系统的波前像差和系统杂散光，最终影响成像质量。低频误差可能导致光通量变化和散射的增加，特别是在需要大功率的敏感系统中更为明显。此外，低频误差也对应于传统的像差，对光学系统的成像质量有直接影响。

2. 中频误差：

中频误差对光学系统的影响主要体现在小角度散射，可能导致焦面产生耀斑，影响系统对比度。此外，中频误差对调制传递函数（MTF）的影响表现为不同空间频率下的MTF损失，且这种损失随着中频误差峰谷值（PV）的增加而增加。

3. 高频误差：

高频误差一般采用统计学理论描述，对应于光学系统中的大角度散射。高频误差影响图像的清晰度、锐度和对比度等参数，因为它们与表面的微观特征相关，如划痕和麻点。高频误差对光学系统性能的影响特征体现在大角度散射，影响成像的清晰度和锐度。有时直接认为光线丢失。图像模糊，增加光学系统中的杂散光，尤其是在高数值孔径（NA）的光刻物镜中，这种影响更加明显。

综上所述，光学表面不同频段的误差对光学系统的性能有着不同的影响；因此，对光学表面全频段误差的幅值、频谱、分布形式等提出明确的控制指标，实现其一致收敛是高分辨率成像系统制造的必然要求。