中心偏差测量方法（干涉测量法）---【光学偏心】

前言与目录

光学中心偏差测量方法；介绍干涉测量法；

---

1、光学中心偏差测量方法分类

通过查阅文献，以及对比国内外的相关仪器设备，归纳总结出测量透镜中心 偏差的几种基本方法：

图1：中心偏差测量方法分类

中心偏差测量方法基本上分为两类，即干涉测量法和自准直成像法，其中自准直成像法又称为直接测量法。

本篇介绍干涉测量法

---

2、干涉测量法

干涉测量法干涉测量法利用干涉原理测量透镜中心偏差，具有高精度、高灵敏度等特点。 根据光线的传播方式，干涉测量法可分为反射式干涉测量和透射式干涉测量。

(1)、反射式干涉测量法

根据测量位置的不同，反射式干涉测量法可以分为中心反射测量法和边缘干涉测量法。

(a)、中心干涉测量法

中心干涉测量法测量位置为被测透镜中心。被测透镜前后两光学表面的反射 光与参考光干涉，通过分析干涉条纹可以确定被测光学表面的中心偏差。该方法有多种不同的结构形式，如图2所示为一常见结构。

图2.中心干涉测量法原理图

 

如图 2 所示，中心干涉测量法一般选择激光器作为光源。激光器1发出的光经准直物镜 2 准直后经过半波片3进入偏振分光镜4。光束经过偏振分光镜4后分为 两路，一路作为参考光经1/4波片6到达参考镜5，经参考镜5反射后进入投影物镜 10；

另一路经1/4波片9到达被测透镜7，由被测透镜7的前后两个表面反射后到达 投影物镜10。系统中参考镜5与探测器11互为共轭关系，被测透镜7前后表面中间 的某一平面与探测器11共轭。两路光经过投影物镜10后，在探测器11上发生干涉。 由于被测透镜7的前后两个表面的反射光均与参考光干涉成像，因此在探测器上会出现两个相互独立的同心干涉条纹。 根据等厚干涉相关原理，干涉条纹中心点位置与被测透镜前后两表面中心偏差相关，经过分析干涉环中心点位置就能够实现透镜中心偏差的测量。

(b)、边缘干涉测量法

边缘干涉测量法利用被测光学表面边缘反射光干涉测量被测光学表面的中心偏差，以中科院长春光机所设计的总装对心干涉仪为代表，其工作原理如图 3 所示。

图3：总装对心干涉仪原理图

激光器发出的单色光依次经准直镜组、起偏器、反射棱镜及半五角棱镜入射到PBS后分为两束，其中一束光反射，另一束光透射。这两束光各自经半五角棱 镜反射后透过1/4波片。然后分别到达平面反射镜M1和M2，调整平面反射镜M1 和M2，使两束光线沿被测光学表面半径方向入射。经过被测光学表面反射后， 两束光按原路返回。反射回来的两束光依次经过PBS、检偏器、成像物镜后发生干涉。

使用CCD相机接收干涉条纹，在显示器上观察干涉条纹。测量时将被测光 学元件置于精密转台上并随其旋转。若被测光学表面存在偏心，被测光学元件随 转台旋转时，被测光学表面上两光束入射点存在相对位移，即两束光存在光程差， 在显示器上可以观测到干涉条纹的移动。通过记录干涉条纹的移动数目可以计算 出两光点处的相对位移，进而可以求得被测光学表面的中心偏差；

式中，c为被测光学表面中心偏差，N为干涉条纹变化数，R为被测光学表面曲率 半径，L为被测光学表面上两光点之间距离，λ为工作波长。

(2)、透射式干涉测量法

透射式干涉测量法分析的是被测透镜透射光产生的干涉条纹，该方法的原 理如图 4 所示。

图4、透射式干涉测量原理图

图5：展开后的成像示意图

将图 4 中的环形光路OPQ按照其成像关系展开，如图  5  所示。由被测透镜两端入射的平行光分别会聚在被测透镜的物方焦点F1和像方焦点F2上。F1、F2 在垂直方向的距离为

式中，N1、N2表示被测透镜的前后节点，θ为光传播方向与光轴的夹角。F1、F2 分别经过反射镜M1、M2反射后，共同经过分束器BS1、BS2后会聚在旋转散射屏 RDS处，并发生等倾干涉。等倾干涉条纹的中心即为F1、F2连线与旋转散射屏 RDS的交点。如图 4 所示，F1、F2连线与竖直方向的夹角为

其中S为F1F2在竖直方向的传播距离。 激光器发出的光经过BS2、M3以及带有小圆孔的光阑BM形成细参考光束。 参考光束在旋转散射屏RDS上产生指示光斑，形成参考位置，通过测量干涉条纹 中心与指示光斑中心的距离即可测量透镜中心偏差。

---

--

本篇文章为个人学习笔记，供学习和复习使用。未经允许不得转载或用于商业用途。