加速度随机游走_MEMS加速度计选择并非易事，这个方法你必须了解

加速度计能够测量加速度、倾斜、振动或冲击，因此适用于从可穿戴健身装置到工业平台稳定系统的广泛应用。市场上有成百上千的加速度计器件可供选择，其成本和性能各不相同。本文第一部分讨论设计人员需要知道的关键参数和特性，以及它们与倾斜和稳定应用的关系，从而帮助设计人员选择最合适的加速度计。第二部分将重点关注可穿戴设备、状态监控(CBM)和物联网应用。

最新 MEMS电容式加速度计应用于传统上由压电加速度计和其他传感器主导的应用领域。新一代 MEMS加速度计可为 CBM、结构健康监控(SHM)、资产健康监控(AHM)、生命体征监测(VSM)和物联网无线传感器网络等应用提供解决方案。然而，在有如此多加速度计和如此多应用的情况下，选择合适的加速度计并非易事。

尚无行业标准界定加速度计属于何种类别。加速度计的一般分类及相应的应用如表 1 所示。所示的带宽和 g 值范围是加速度计用在所列终端应用中的典型值。

表 1. 加速度计等级和典型应用领域

图 1 显示了各种 MEMS 加速度计的快照，并依据特定应用的主要性能指标和智能 / 集成水平将各传感器归类。本文的一个重要关注对象是基于增强型 MEMS 结构和信号处理的新一代加速度计以及世界一流的封装技术，其稳定性和噪声性能可与更昂贵的专门器件相媲美，而功耗更低。这些特性及加速度计的其他关键规格将在下文依据应用相关性加以详细讨论。

图 1. ADI 公司精选 MEMS 加速度计的应用版图

倾斜检测

主要标准：偏置稳定度、失调温漂、低噪声、可重复性、振动校 正、跨轴灵敏度。

对 MEMS 电容式加速度计而言，精确的倾斜检测是一种要求颇高的应用，尤其是在有振动的情况下。在动态环境中利用 MEMS 电容式加速度计实现 0.1°的倾斜精度非常困难——<1°很困难，>1°较易实现。为使加速度计有效测量倾斜度，必须对传感器性能和终端应用环境有很好的了解。相比于动态环境，静态环境对倾斜测量更加有利，因为振动或冲击可能会破坏倾斜数据，引起严重测量误差。倾斜测量的最重要特性有温度系数失调、迟滞、低噪声、短期 / 长期稳定性、可重复性和良好的振动校正。

0 g 偏置精度、焊接引起的 0 g 偏置漂移、PCB 外壳对准引起的 0 g 偏置漂移、0 g 偏置温度系数、灵敏准确度和温度系数、非线性度以及跨轴灵敏度等误差，是可以观测到的，并且可以通过装配后校准流程加以降低。迟滞、使用寿命期间的 0 g 偏置漂移、使用寿命期间的灵敏度漂移、潮湿引起的 0 g 漂移，以及温度随时间变化引起的 PCB 弯曲和扭转等等，这些误差项无法通过校准或其他方法解决，需要通过一定程度的原位维修才能减少。

ADI 公司的加速度计可分为 MEMS (ADXLxxx)和 iSensor® (ADIS16xxx)特殊用途器件两类。iSensor 或智能传感器是高集成度(4 到 10 个自由度)且可编程器件，适用于动态环境下的复杂应用。这些高集成度即插即用解决方案包括全面的工厂校准、嵌入式补偿和信号处理，解决了上述需要原位维修的很多误差，大大降低了设计和验证负担。这种全面的工厂校准为整个传感器信号链提供额定温度范围(通常是−40°C 至+85°C)内的灵敏度和偏置特性。因此，每个 iSensor 器件都有其独特的补偿公式，