双层胶工艺是什么？

    知 识星球（星球名： 芯片制造与封测社区，星球号： 63559049）里的学员问： 什么是双层胶工艺？ 为什么要用双层胶呢？

本图由allresist公司提供，特此鸣谢

为什么要涂双层胶？涂双层胶一般不是为了增加厚度，如果仅仅为了增加厚度，完全没必要做双层，因为双层胶工艺难度极大，而且各种厚度的光刻胶都可以买到。而双层胶工艺一般是在Lift-off工艺中使用的较多。一般的lift off胶分辨率较低，如下图所示，无法做更精细的结构：

而双层胶结构可以看出上层胶的开口较小，而下层胶的开口较大，这样在镀膜的时候，可以做出的图形更小。

双层胶的工艺是什么样的？
1，底层胶涂覆，烘烤2，第二层胶涂敷，烘烤3，曝光4，显影 为什么下面的胶溶解的更多？该双层胶，上层是光刻胶，可曝光可显影，下层胶不感光但可溶于碱溶液。显影时，先将上层的光刻胶显影出图案，之后显影剂开始以各向同性方式溶解底层。这样就制作出了上下两层开口不同的效果。

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