ASML的EUV光刻机型号汇总

欢迎预约直播,深入学习芯片制造知识!
上期文章中,我们列举了ASML的G线,i线光刻机型号,见文章:
本期,我们要罗列下ASML的EUV光刻机的型号及主要技术参数。

0638b874ffe70555697eda6b86e59b43.jpeg

ASML公司的EUV介绍极紫外光刻 (EUV) 技术使用波长为13.5纳米的光。高能激光聚焦在熔融锡的微小液滴上, 产生等 离子体并发射出EUV光。锡滴的温度可达到 220,000 摄氏度——是太阳平均表面温度的 40 倍。然后,光线通过蔡司镜反射到晶圆表面,从而在晶圆上呈现出芯片的设计的图案。 截至 2022 年,ASML 已出货约 140 台 EUV 系统,而且它是唯一一家制造EUV的公司。 ASML 最畅销的 EUV 产品是 TWINSCAN NXE:3600D,其售价高达 2 亿美元。这台光刻机约180吨,卡车大小的体积,需要用三架波音 747运输。 ASML的EUV光刻机主要是TWINSCAN NXE,TWINSCAN EXE系列,见下表:

c8fea83aef2f331fdce1034ea73dddb4.jpeg

下期我们会总结ASML公司DUV光刻机型号。 9c3b1f498fb403688f235dc6cb035cf3.jpeg     欢迎加入我的半导体制造知识星球社区,目前社区有1900人左右。在这里会针对学员问题答疑解惑,上千个半导体行业资料共享,内容比文章丰富很多很多,适合快速提升半导体制造能力,介绍如下:      《欢迎加入作者的芯片知识社区!》

7245c4e43f579cb963dc0f263934fa1f.jpeg

评论
添加红包

请填写红包祝福语或标题

红包个数最小为10个

红包金额最低5元

当前余额3.43前往充值 >
需支付:10.00
成就一亿技术人!
领取后你会自动成为博主和红包主的粉丝 规则
hope_wisdom
发出的红包
实付
使用余额支付
点击重新获取
扫码支付
钱包余额 0

抵扣说明:

1.余额是钱包充值的虚拟货币,按照1:1的比例进行支付金额的抵扣。
2.余额无法直接购买下载,可以购买VIP、付费专栏及课程。

余额充值