倒装芯片中锡球有几种制作方式?

知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区)里的学员问:倒装芯片芯片的锡球是怎么制作的?麻烦讲解下具体的工艺

倒装芯片中锡球的作用?

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如上图,锡球,英文名称solder ball,是倒装工序中十分重要的部件,主要的作用有:1,导电作用,用于连接芯片的焊盘和封装的基板,从而实现芯片与外部之间的信号传输。2,散热作用,将芯片工作过程中产生的热量传导至基板3,支撑作用

锡球的制作工艺?

一般有三种方法:丝网印刷,激光植球,电镀。


丝网印刷

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将锡膏通过钢网模板印刷到基板焊盘上,回流焊加热锡膏至熔融状态,在表面张力作用下形成球形。

电镀锡球  详见之前的文章:《聊聊倒装芯片(flip chip)的工艺流程


激光植球  购买已经做好的锡球,将锡球储存于机台中,通过N₂将锡球输送到焊盘的指定位置,再用激光对锡球进行加热,锡球冷却后即芯片牢牢结合。

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三种制作方法的对比?

印刷法:工艺简单成熟,成本低,难以实现超小锡球,均匀性较差,尺寸一般在100-150um左右。电镀法:均匀性好,可以做小锡球,激光植球:设备昂贵,效率低图片

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