DA和WB工序中的具体作业步骤

在半导体封测厂中,后制程的DA(Die Attach)和WB(Wire Bonding)工序指的是:

1. DA(Die Attach,芯片贴装或芯片键合):这一工序涉及将切割后的晶圆片(裸片)固定到封装基板上。这是封装过程中的一个关键步骤,晶圆片(Die)通过粘合剂(如环氧树脂)被精确地放置在引线框架或基板的指定位置上。DA工序确保了芯片与外部电路的物理连接,并且对于后续的电气连接和芯片的机械保护至关重要。

2. WB(Wire Bonding,引线键合):在DA工序之后,WB工序通过使用极细的金属线(通常为金线、铜线或铝线)在芯片的接合焊盘(Bond Pad)和封装基板的引脚之间建立起电气连接。引线键合是一种精细的操作,需要精确的对准和控制,以确保电气连接的可靠性和芯片性能的稳定性。

这两个工序是半导体封装过程中不可或缺的部分,它们共同确保了芯片能够与外部电路正确连接,并提供必要的物理保护,DA和WB工序是封装前段操作之后的重要步骤,通常在注塑封装之前完成。

在半导体封测厂的产线上,操作工在DA(Die Attach)和WB(Wire Bonding)工序中的具体作业步骤大致如下:

DA(Die Attach,芯片贴装或芯片键合)工序:

1. **准备材料**:操作工需要准备待贴装的晶圆片(裸片)和封装基板(如引线框架或印刷电路板)。

2. **清洁**:确保晶圆片和基板的表面清洁无尘,以避免粘合剂和芯片之间的粘接不良。

3. **点胶**:在基板上的指定位置点上适量的粘合剂,粘合剂可以是环氧树脂、银浆或其他专用粘合材料。

4. **贴装**:使用自动化设备将晶圆片精确地放置在点胶后的基板上,确保芯片的位置与基板上的标记对齐。

5. **固化**:将贴装好的基板放入固化炉中,按照设定的温度和时间参数进行固化,使粘合剂硬化并牢固地固定芯片。

6. **检查**:固化后,操作工需要检查芯片的位置是否准确,以及是否有粘合剂溢出等问题。

7. **记录**:记录每个批次的贴装数据,包括芯片型号、数量、生产日期等信息。

WB(Wire Bonding,引线键合)工序:

1. **准备**:在DA工序完成后,操作工准备进行引线键合的设备和材料。

2. **设备设置**:根据芯片和基板的规格设置引线键合机的参数,包括线径、张力、键合压力、时间和温度等。

3. **键合**:操作工启动引线键合机,机器将自动进行引线键合,将金属线从芯片的接合焊盘键合到基板上的引脚。

4. **监控**:在键合过程中,操作工需要监控设备运行情况,确保键合过程顺利进行。

5. **检查**:键合完成后,检查键合线的质量,包括线的形状、张力和是否有断裂等问题。

6. **修复**:对于键合不良的部分,操作工可能需要手动或使用设备进行修复。

7. **记录**:记录键合过程中的关键参数和质量检查结果。

8. **清洗**:键合完成后,可能需要对芯片进行清洗,以去除键合过程中可能产生的杂质。

9. **最终检查**:在工序结束前,进行最终的视觉和电气性能检查,确保产品符合质量标准。

这些步骤可能因具体的生产设备、工艺流程和公司的操作规程而有所不同。现代半导体封测厂通常采用高度自动化的生产线,操作工的角色更多是监控、调整设备参数、进行质量检查和记录数据。

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