半导体器件基础01:关于PN结的那些事(3)

说在开头:关于量子(2)

1879年普朗克拿到了慕尼黑大学的博士学位,1887年,在基尔霍夫去世后,他接任了那个教授职位的空缺(亥姆霍兹本来推荐赫兹来继任这一职位的,结果赫兹拒绝了)。幸运之神降临到了普朗克头上,来到柏林大学,成为理论物理研究所主任。1896年,他读到了关于黑体辐射的论文,表现出了极大的兴趣。在他看来,维恩公式体现出来的这种物体内在规律:与物体本身性质无关的绝对规律。普朗克决定彻底解决黑体辐射这个问题,为那两个无法调和的公式而苦思冥想,终于有一天,他决定先把两个公式凑合凑合再说:先尝试凑出一个可以满足所有波段的公式来。其它问题就以后再说吧。10月19日,普朗克在柏林德国物理学会的会议上,把这个公式公布出来了;当晚就有人仔细的比较了这个公式和实验结果,让他惊喜的是:在每个频段都十分精确的与实验值相符。普朗克的帅脸一红:真是侥幸啊~

普朗克再次注视这个公式,它究竟代表了一个什么样的物理意义呢?他尴尬了:我自己也不知道啊!普朗克犯了难:维恩公式建立在粒子的基础之上,瑞利-金斯是建立在波的基础之上,那么新的公式究竟是建立在粒子还是波的角度上呢?作为一个传统的物理学家,普朗克总是尽可能地试图在理论内部解决问题,而不是颠覆这个理论以求得突破,更何况他面对的是大宗师:麦克斯韦的电磁理论。那段时间是普朗克一生中最忙碌和光辉的日子,他发现仅仅是引入分子运动理论还是不够的,在处理熵和概率的关系时,如果要使新方程成立,即必须做一个假定:能量在发射和吸收的时候,不是连续不断,而是分成一份一份的。

能量不连续就不连续好了,关我毛事?不错,但这是关乎物理学家们信念的大事:与有史以来所有物理学家的的观念截然相反。自从伽利略和牛顿用引入数学规则之后,一切自然的过程都被当成连续不间断的。而微积分也正是建立在连续的基础之上,牛顿和麦克斯韦的庞大体系便建筑在这个地基之上,几百年来人们从未有丝毫怀疑这个地基是否坚实。原来我们现实世界并不存在无穷小,包括能量、空间、时间,从普朗克尺度来看都是像台阶一样,有最小的尺度,我们不可能跨越半个台阶并停留在半空中;我们生活在一个离散的宇宙中!(参考自:曹天元-上帝掷骰子吗)

三,从量子理论角度重新看半导体

通过之前两章节的学习与思考,我们初步理解了半导体材料和PN结的工作及特性的基本原理,感觉PN结已经能被圆满地解释通透了;我都信心满满地以为自己已经搞懂了PN结,直到有天“碰到”了肖特基博士的二极管——肖特基二极管,产生了两个疑问始终不能解决:

1. 金属的“自由电子”浓度远大于N型半导体,为什么N半导体侧自由电子反而会“扩散”到金属侧

2. 是否有更深层次的理论来“量化”半导体载流子和电流-电压关系

——“量化”这词,是不是看起来就很高级?(以后再来分析“量化”为什么很高级)

我以为自己已经看到了整个世界,却不知道我看到的只是世界的一个角落。疑问就像是新世界的大门,它让你有机会看到另一方天地,你要做的便是找到这扇大门和钥匙,打开它,走进去。

所以我们现在要做的是放下原先地“偏见”,从量子理论的角度重新认识半导体,同时在学习和理解的过程中,与原先的知识相互印证。

1,本征半导体-固体量子理论基础

我们要通过量子理论来解释半导体,首先得了解一下量子理论是啥;不求理解,只是了解下量子理论的三个基础原理:(1)能量量子化理论;(2)波粒二相性原理;(3)不确定原理。

——量子理论的这几个基础原理,在 “量子论”的分享中会详细介绍。

1. 能量量子化理论,说明光子能量跟频率成正比:

1, 根据经典物理学理论,只要光强度足够大,电子就可以克服材料功函数(电子逸出材料表面所需的最小能量,肖特基二极管分析中用到)从表面发射出去,而该过程与照射光的频率无关;

2, 实验结果是:在恒定光强照射下,光电子的最大动能随着光频率呈线性变化,其极限频率为v = v0,低于此频率将不会产生光电子;

3, 1900年普朗克提出加热物体表面发出热辐射是不连续的假设,即所谓量子;

4, 1905年爱因斯坦提出了光波也是由分立粒子组成的假设(光子),从而解释了光电效应(爱大神因此获得诺贝尔物理学奖);具有足够能量的光子,可以在材料表面激发出电子;而光子具有超出功函数所需的能量将转变为光电子的动能;

5, 光电效应体现了光子不连续的本质,同时表现出光子的粒子性;而光子的能量与波长呈倒数关系:波长越短,能量越高。

2. 波粒二相性原理,说明粒子具有波动性,符合波动理论:

1, 在光电效应中光波表现出粒子的特性,该特性有助于解释电磁波的康普顿效应实验:实验中X射线照在固体表面,其中一部分射线发生偏转,并且偏转的频率较入射波发生变化;实验结果显示X射线两字与电子之间相互作用及你却符合“撞球”式的碰撞规律;

2, 1924年,德布罗意提出存在物质波的假设,既然波有粒子性,那么粒子也应具有波动性,其假设就是波粒二象性原理;

3, 1927年Davisson和Germer设计了一个实验:利用加热的灯丝发射电子束,经过加速后射向镍晶体,同时检流计在不同角度探测散热出的电子;其散射电子的角度分布于光栅衍射所生成的干涉图形非常类似。

3. 不确定性原理,说明对于任何粒子,无法确定其准确位置,这只是个概率问题:

1, 1927年出现了海森堡不确定原理,最初为描述较小粒子而提出,用于描述哪些不能确定状态的亚原子粒子;

2, 不确定原理的首要观点是:对于同一粒子不可能同时确定其坐标和动量;第二个观点是:对于同一粒子不可能确定其能量和具有此能量的时间点

3, 不确定原理的一个结论是:无法确定一个电子的准确坐标,那么将其替换为:确定某个坐标位置可能发现电子的概率

2,本征半导体-能级理论

根据量子力学理论,被束缚在原子周围或有限空间电子的一个重要特性:电子的能量只能是分立值,即能量的量子化。用人话来说就是:电子只能出现在原子周边的一些特定能量轨道(能级)上。

再根据泡利不相容原理:任意给定量子态只能被一个电子占据。再用人话来说就是:同一能量轨道(能级)上的电子最多只能有两个自旋方向相反电子(电子的自旋产生磁矩,自旋电子的不平衡产生磁体)。

——宇宙中的物质拥有体积,我的手不能穿越我打字的键盘,而且也不会从地面掉进地心,这都是因为泡利不相容原理。

我们综合两大原理来描述电子:电子只能出现在原子周边的一些特定能量轨道(能级)上,而且同一能量轨道(能级)上的电子最多只能有两个自旋方向相反电子

——举个栗子:H(氢)原子只有一个电子轨道(1s),最多允许有2个电子占据该轨道(能级状态)。随着原子核数量增加,电子层数增加,电子从最低能量(离原子核最近)慢慢填充,能量越来越大;第二层有4个电子轨道(2s+2p:s亚层有1电子轨道,p亚层有3个电子轨道)最多允许8个电子,第三层有8个电子轨道(3s+3p+3d:d亚层有5个电子轨道)最多允许16个电子,以此类推。这些电子轨道(能级状态)就是原子的能级。大家可以看到每一层对应不同数量的电子轨道,每个轨道允许2个电子占据;如下图所示。

1. 能带:当由许多个原子组成晶体时,由于晶体内原子之间的相互作用,原子能级会发生移动,原本一条能级变成一组差别细微的能级状态——能带(也称为允带:允许电子落在该位置);由于能带内不同能级的能量差别非常小,所以很多时候在能带内可以忽略间隔,认为能量是连续的。

2. 禁带:能带之间存在没有能级的间隔,这个间隔就是禁带

——电子无法落在禁带,甚至在不同能级跃迁时,也不可能出现在能带之间的禁带。

3. 满带:当原子处于基态时,所有电子从最低能级开始依次向上填充;电子刚好填充到某一个能带满,被填满的能带称为满带;

4. 价带(价带顶:Ev):也称价电带,通常是指半导体或绝缘体中,在0K(绝对0度)时能被电子占满的最高能带

——对半导体而言,此能带中的能级基本上是连续的,价电子不能在固体中自由运动,但若该电子受到光照/加热,它可吸收足够能量而跳入下一个容许的最高能区(导带),从而使电子可在固体中自由运动。

5. 导带(导带底:Ec):由自由电子形成的能量空间,即固体结构内自由运动的电子所具有的能量范围;

——对于金属,所有价电子所处的能带就是导带;对于半导体,能量最高的价带到下一个能带(导带)的禁带宽度并不大,电子跃迁到到能带后就可以自由移动。 

6. 价电子:处在原子轨道中并呈键合状态(离子键,共价键,金属键、范德华建等)的电子

——对于金属,所有价电子所处的能带就是导带;对于半导体或绝缘体,所有价电子所处的能带就是价带,比价带能量更高的能带是导带

3,本征半导体-费米能级理论

我们第一步了解了原子中的电子能级结构,接下去就是要理解另外一个重量级的概念——费米能级;费米能级不是固定在如上描述中的任何一个能级/带中,它可以处于能带中的任何位置,当然也可以处于禁带之中。那它到底是个啥?

费米能级是指:0K(绝对0度)条件下,电子充满能级所需要的阈值;即在费米能级以下的能级(能带)将被电子填满,而高于费米能级以上的所有能级(能带)都为空。还是不理解?好,我们再用人话来转述一遍:在绝对0度条件下,电子只能占据费米能级以下的能级(100%),但在大于绝对0度的任何温度时,占据费米能级的概率是50%

——说到底,费米能级就是电子出现在该能级位置的概率,绝对0度时所有电子在费米能级以下,但是大于绝对0度时,电子就有一定的概率跃迁到更高级的能带中去。

如果还是看不懂也没关系,再举一个更普通的栗子:假设原子是地球,电子是水分子,那么费米能级就是海平面,在绝对0度时所有的水分子都在海平面以下,但在大于0K(绝对0度)条件下,有一定概率的水分子会气化,飞到水平面以上;那这个海平面就是费米能级

如下图是不同温度下费米概率函数与能量之间的关系:横坐标为电子所处的能量,1/2概率处是费米能级,大于费米能级的能量越大,电子占据该能量的概率就越小,小于费米能级的能量越小,电子占据该能量的概率就越大

我们既然学习了费米能级,那么就用费米能级的理论再来重新认识下:金属导体、半导体和绝缘体三种材料;如下图所示。

1. 金属:如上述章节所述,固体金属原子之间会形成键结构:金属键;它是失去电子的原子核和自由电子组成的电子云之间的静电库仑力,所以很多金属的价带和导带是重叠的。

——费米能级处于金属导带中间,说明金属在0K(绝对0度)条件下存在可以自由移动的电子

2. 半导体:半导体的价带和导带是相互分离的,本征半导体的费米能级在导带和价带的正中间,在绝对0度条件下电子能级低于费米能级的价带中,所以半导体中没有可移动的自由电子;但在大于绝对0度条件下电子有一定概率跃迁到导带能级,形成自由电子,且随着温度的增加,禁带宽度由于原子热振动影响到了能带,其能带之间的间隙(禁带)会变窄,所以载流子的浓度也会增大,导电性能增加;

3. 绝缘体:绝缘体同半导体一样,费米能级在导带和价带之间,只是导带底(Ec)和价带顶(Ev)的禁带宽度远大于半导体,所以电子从价带顶跃迁到导带底的概率会小很多,导致绝缘体的导电性能会差很多

4, P型N型半导体-费米能级理论

既然咱们都已经学了费米能力的理论,那么就用费米能级来解释:P型N型半导体由于掺入杂质,其费米能级也发生了相应的变化;分别看下P型和N型半导体的变化过程:

1. N型半导体:如下图所示,由于掺入带5个电子的杂质原子,其中4个电子与半导体结合成共价键;同时在禁带中靠近导带底部位置引入一组能级:施主能级,该能级是杂质原子剩余的1个电子的能级,它非常容易获得能量进入导带成为自由电子;这种类型的杂质原子向导带提供了电子,称之为施主杂质原子

——由于施主杂质原子增加导带电子,并不产生价带空穴,所以此时半导体称为N型半导体(N表示带负电电子)。

2. P型半导体:由于杂质原子带3个价电子,并且与半导体结合成共价键,有一个共价键是空的;由于加入杂质后需要一个电子来填充这个“空”位,此时的杂质原子带负电,所以填入空位的电子能量必须比价电子能量高(同性相斥),但占据“空”位电子并不具有足够的能量进入导带,而是靠近价带顶部;价带上的电子能很容易跃迁到杂质“空”位,造成其它价电子位置将变空,空穴可以在晶体中运动形成电流;杂质原子从价带中获得电子,称之为受主杂质原子

——受主杂质原子在价带上产生空穴,但能不在导带中产生电子;我们称这种类型半导体为P型半导体(P表示产生带正电的空穴)。

3. 本征半导体费米能级:上面已分析本征半导体的费米能级位于禁带中央附近;由于本征半导体电子浓度与空穴浓度相等,假设电子和空穴有效质量相等(其实空穴有效质量略大于电子质量),则本征半导体费米能级位于禁带中央(由理论计算所得)

4. P/N型半导体费米能级:在室温状态下,施主能级基本处于完全电离状态,对于典型的掺杂(10¹⁶ cm³)来说,强电离区内几乎所有施主杂质原子都向导带贡献了一个电子;受主原子也基本处于完全电离状态,即受主原子都从价带获得一个电子,从而每个受主原子都会在价带上产生一个空穴。如下图Efi为本征半导体费米能级,Ef为掺杂后半导体费米能级。N型半导体随着掺杂浓度增加费米能级越靠近导带底,P型半导体随着掺杂浓度增加费米能级越靠近价带顶。

5. 费米能级表征了半导体中自由电子/空穴的浓度比例,它会随着掺入杂质原子而改变,所以不同P/N型半导体的自由电子与空穴的浓度也不同;假设P/N型半导体自由电子浓度n0,和空穴浓度p0,那么在热平衡状态下n0*p0 = ni²,是一个常数;本征半导体的电子和空穴浓度随着掺杂而改变,但是本征浓度ni可以看做半导体材料的一个参数(保持不变);

6. 本征载流子浓度ni是一个温度强相关函数,随着温度的增加产生出了额外的电子-空穴对;费米能级随着电子-空穴浓度比例的变化而发生变化。

5,PN结-费米能级

一个完整半导体材料:一部分掺入受主杂质原子形成P区,相邻的另一部分掺入施主杂质形成N区,分割成P区与N区的交界面称为冶金结;起初在冶金结所处的位置,电子和空穴都有一个很大的浓度梯度,两边载流子:N区的“自由电子”和P区的“空穴”分别向对端扩散,随着N区自由电子向P区扩散,带正电的施主离子被留在了N区,同时随着P区的空穴向N区扩散,带负电的受主离子留在了P区,从而在冶金结附近感生出了一个内建电场,方向是由N区指向P区;这两个带电区域就是:空间电荷区,又称为耗尽区。这是以电子“扩散”的理论来解释PN结的形成,那么如果用费米能级怎么来理解PN结呢?

1. 假设PN结两端没有外加电压偏置,那么PN结处于热平衡状态:整个半导体费米能级处处相等(如果费米能级不相等,PN结两边必然存在着能量的差异,将导致电子和空穴向着各自能量更低的方向转移(原理同热力学第二定律),直到费米能级平衡,能量差异消失:电子和空穴的分布也即趋于稳定),且是一个恒定值

——由于P区和N区之间导带和价带相对位置会随费米能级的变化而变化,所以空间电荷区所在位置的导带和价带发生弯曲,如下图所示;

2. 此时N区导带内的“自由电子”在试图进入P区导带时遇到了一个势垒:内建电势差eVbi;该内建电势差维持了N区多子(自由电子)和P区少子(自由电子)之间以及P区多子(空穴)与N区少子(空穴)之间的平衡。eVbi维持了平衡状态,因此它在半导体内部不产生电流。

3. 若在P区和N区之间增加一个电压,那么PN结就不能再处在热平衡状态(热平衡状态不再满足);

1, PN区外加反向偏压时:N区的费米能级要低于P区费米能级的位置,两者费米能级的差值刚好等于外加电压值(VR)*电子电量e;总电势差eVtotal=VR+Vbi。增加了的势垒高度继续阻止电子与空穴的流动,因此PN结内基本没有电荷(多子)的流动;

2, PN区外加正向偏压时:P区费米能级要低于N区费米能级的位置,总势垒高度下降了:eVtotal=Vbi-VR。降低了的势垒高度意味着空间电荷区的电场随之减弱,电场减弱则意味着原先扩散电流与漂移电流平衡被打破,电子和空穴不再分别滞留在N区和P区,于是就有由P区经空间电荷区到N区的“扩散空穴电流”,同理有由N区经空间电荷区到P区的“扩散电子电流”。

4. 热平衡状态下PN结导带能量图如下图所示:导带内N区电子数量远大于P区,内建电场阻止了N区自由电子向P区流动,即:内建电势差维持了PN结两侧各区域载流子之间的分布平衡

5. PN结反偏产生电流:对于反偏PN结,一般认为在空间电荷区内不存在可移动的电子和空穴,但实际上在反偏电压下,空间电荷区内产生了自由电子-空穴对;这些自由电子与空穴试图重新建立热平衡,而过剩自由电子与空穴的复合过程就是重新建立热平衡的过程;这些自由电子和空穴一旦产生,就被电场扫出空间电荷区由空间荷区自由电子和空穴移动所产生的电流,就是PN结反向电流。理想反向饱和电流密度与反向偏压无关,但实际反偏电流却跟空间电荷区宽度(反向偏压)有关,所以反偏电流密度不再与反偏电压无关。

6. PN结正偏电流,PN结总正偏电流密度是:复合电流密度和理想扩散电流密度之和; 如图为对数坐标上的复合电流和理想扩散电流,两条曲线的斜率不同;电流密度较低时(小注入)复合电流占主导,而电流密度较高(大注入)时,扩散电流占主导地位(电导调制作用)

1, PN结正偏复合电流:当PN结外加正偏电压时,自由电子和空穴穿过空间电荷区注入到相应的区域,空间电荷区没有过剩载流子,因此自由电子和空穴在穿越空间电荷区时有部分载流子会发生复合,而并不成为少子分布的一部分;

2, 理想扩散电流密度:如下图显示为电中性N区内的少子(空穴)的浓度,该少子分布形成了PN结的理想扩散电流密度,且它是外加电压与少子(空穴)扩散长度的函数

7. 反向PN结击穿:对于理想PN结反向偏压,会在PN结内形成一股很小的反偏电流,但是反偏电压不能无限制地增加;在特定条件下反偏电流会快速增大;发生该现象时的电压为击穿电压;PN结击穿的物理机制有两种:齐纳击穿和雪崩击穿。

1, 齐纳击穿:重掺杂的PN结由于隧穿机制而发生齐纳击穿;在重掺杂PN结内,反偏条件下PN结两侧的导带和价带离得非常近,以至于电子可以由P区的价带直接隧穿到N区的导带;(稳压二极管掺杂浓度要高,空间电荷区宽度很小,电场强度很大;半导体与金属接触的欧姆电阻,其中一种方式就是隧穿)

2, 雪崩击穿:由于电场作用,当电子穿越空间电荷区时能量会增加,当增加到一定程度并与耗尽区原子内的电子发生碰撞时,便会产生新的自由电子-空穴对;新的自由电子又会撞击其它原子内的电子,于是发生了雪崩效应。由于雪崩效应,电子电流会随着距离的增加而增大。(TVS管掺杂浓度要低,空间电荷区宽度要大)

写在最后

PN结是半导体器件的基石,所有半导体器件复杂的特性,都可以基于PN结推导出来。说实话,关于PN结本章内容只描述了其皮毛,有非常多的理论计算和推导已被我省略,不是故意省略(不然可以写出来显摆一下),而是我的确没看懂,哈哈。有兴趣的同学们可以学习《半导体材料》相关书籍。

那哪些内容是作为硬件工程师需要去深入理解的呢,我想还是需要从PN结的特性出发,来理解器件会的特性:

1. 理解PN结的正向导通,反向截止,反向击穿等特性原理;

2. 理解载流子导电的行为模型;

3. 理解由于PN结特性导致的器件参数的真正意义。

插个题外话,做过几年硬件设计的同学应该都知道大多芯片资料提供了结温Tj,大多元器件以结温作为判断器件温度应力是否超标的标准,那么这个结温到底是指哪里的温度呢?我想大家看完本章之后应该都能猜到了,结温指的就是器件中PN结的温度。

接下来,我们要进入具体器件的原理和应用专题,如果有疑问的地方,那就需要各位同学重新来回顾本章的内容,那些有的没的、扯淡的、瞎讲的东西。

本章部分相关内容和图片参考自:唐纳德.A.尼曼-《半导体物理与器件》;知乎-木旦文《二极管5:PN结原理漫谈》;以及其它网络相关技术分享文章。下一章《从PN结到二极管基础》。

~更多内容,请关注知乎“牧神园地”,专栏中的更新。~

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