前言
OpenShort开短路测试,简称OS,指的是芯片引脚是否存在开/短路现象,不存在开/短路且阻值符合要求的为良品芯片。
测试内容
引脚结构的阻值。
测试本质
二极管压降
测试条件
芯片不供电,加流测压
测试目标
晶圆目前几乎都是硅材质了,硅二极管的理论压降是0.7V。测试机有高精密测试单元(PMU),你可以把它想象成一个理想源,我们通常会驱动(drive)个100-250uA,测试其引脚电压大概在500-800mV,因此我们可以给个范围(range)在0.4-1.2V之间的算是pass。
测试方法
将芯片简化为如图所示模型,VCC为电源管脚,GND为接地管脚,PIN为待测管脚,OS测试分为对电源和对地两种,工程中一般只测对地的,表现为引脚短路测到的电压趋近于0(电阻值趋近于0),开路则相反测到的电压很大(电阻值无穷大)。
1.对电源连接性
检测上二极管是否导通,使用测试机向PIN 灌入一个小电流(source电流),检测压降U是否为0.7V,如图所示,红色箭头为电流方向。
2.对地连接性
检测下二极管是否导通,使用测试机从PIN 拉出一个小电流(sink电流100~500uA),检测压降是否0.7V,如图所示,红色箭头为电流方向。
通常检测时,VDD与GND与其他相邻PIN,都给0V,这样分别source与sink电流时测到PIN处电压为0.7V和-0.7V表示二极管导通