书籍:《炬丰科技-半导体工艺》
文章:半导体晶圆清洗系统
编号:JFKJ-21-296
作者:炬丰科技
半导体晶片被放置在一个清洗槽中从底部注入水箱和允许在上端溢出。一个解决方案
溶液中含有大量稀释的盐酸去离子水。清洗槽其下部的megaSonic发生器,用于选择性应用megaSonic能量。油箱里有快速卸油阀底部使解决方案能够被快速跟踪转储通过一个或多个冲洗步骤,包括快速补充喷洒,然后倾倒漂洗水。
书籍:《炬丰科技-半导体工艺》
文章:半导体晶圆清洗系统
编号:JFKJ-21-296
作者:炬丰科技
半导体晶片被放置在一个清洗槽中从底部注入水箱和允许在上端溢出。一个解决方案
溶液中含有大量稀释的盐酸去离子水。清洗槽其下部的megaSonic发生器,用于选择性应用megaSonic能量。油箱里有快速卸油阀底部使解决方案能够被快速跟踪转储通过一个或多个冲洗步骤,包括快速补充喷洒,然后倾倒漂洗水。