半导体设备：陶瓷搬运手臂

陶瓷搬运手臂，陶瓷搬运手指，陶瓷搬运机械臂具有优良的常温力学性能，如高强度、高硬度、高弹性模量等，优异的高温稳定性，如高导热系数、低热膨胀系数等，以及良好的比刚度和光学加工性能，特别适合用于制备光刻机等 集成电路装备用精密陶瓷结构件，如用于光刻机中的精密运动工件台、骨架、吸盘、水冷板以及精 密测量反射镜、光栅等陶瓷结构件等，

加工精度：

（1）轴：圆度0.002 mm，同心度0.002mm，光洁度Ra0.1 ；

（2）孔：最小加工孔径0.2 mm，深度可达6 mm（具体视材料而定）；

（3）槽（缝）：最小可加工0.1mm窄槽，以及各种形状的槽；

（4）平面：最小可加工厚度0.1MM薄片，平行度0.001mm，测量公差0.001 mm，光洁度Ra0.1；

（5）螺纹：最小可加工M2内螺纹，精度GB-7h，外螺纹尺寸不限，精度GB-6g。