天线效应

概念：

当用等离子刻蚀方法制作与晶体管栅极相连的金属线时，有可能使金属线充电至一个足以使薄栅氧击穿的高电压。这称为等离子引起栅氧破坏，或简称为天线效应。

危害：

他会增大泄漏，改变阈值电压并降低晶体管的预期寿命。

由于较长的导线会积累更多的电荷，因而有可能破坏栅极。

天线效应规则：

天线规则规定了当没有源或漏可以作为放电元件时能够连致栅极的金属线的最大面积。较大尺寸的栅极可以承受较多的电荷的积累。通常这一设计规则规定了金属线面积与栅极面积间所允许的最大比例以保证金属线上的电荷不会损坏栅极。

消除天线效应：

（1）“跳线法

（2）加放电二极管