根据ESD防护器件的TLP I-V特性我们可将ESD器件分为回滞类和非回滞类两种;
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回滞类的ESD器件包括NPN三极管、栅极接地 NMOS ( GGNMOS, Gate-grounded NMOS )、可控桂(SCR, siliconcontrolled rectifier)等。
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非回滞类的ESD器件包括二极管、二极管串、沟道工作的MOS管、PNP三极管、栅极接电源的PMOS(GDPMOS)等,与回滞类ESD器件相比,其TLP曲线没有负阻区的存在。
常用于ESD防护的器件包括PN结二极管、GGNMOS结构和 SCR 结构等。它们均有各自的优势和劣势,现列举如下:
二极管
二极管是最简单的ESD防护器件,寄生效应少,版图布局容易在传统的集成电路中,二极管结构是使用最多的ESD防护结构,能够满足常规的ESD防护需求。
主要劣势:
- 正向二极管开启电压较低。二极管正向导通电压约为0.7V,而芯片的工作电压可以低至IV,当使用正向导通的二极管对芯片进行ESD防护时,为了在芯片上电时不产生漏电流,往往需要串联多个二极管才能使用,导致导通电阻和版图面积相应成倍增大,并且二极管串高温下漏电流较大。
- 反向工作的二极管电流耐受能力较低。反向击穿后的二极管虽然开启电压较高,与PN结掺杂浓度有关,但反向击穿的二极管其电流泄放能力很弱,导通电阻也较大。
主要优势:
- 寄生电容较小。二极管的主要寄生电容为PN结电容和金属布线电容,相比MOS结构电容更小,常常使用在高速、射频电路中。
- 开启速度快。PN结二极管只存在一个PN结的势查区,相比三极管结构,没有基