时序分析基本概念介绍<RC Corner>

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今天我们要介绍的时序分析概念是RC corner。我们知道PVT环境会影响standard cell的delay。那不同的RC corner也类似不同的process一样,会影响net的delay。由于工艺波动的存在,导致互连线工艺的参数值与标准值之间会产生差异,这些差异主要来自于每层金属导线的宽度W,厚度T,层间绝缘介质厚度H以及线间距S。

为了能够尽可能准确的提取互连线的寄生参数,工艺厂商提供了5个RC Corner。分别是Cmax, Cmin, RCmax, RCmin,typical。这五个corner有以下特性:

Cmax: W和T大,H和S小,导致电容最大。

Cmin: W和T小,H和S大,导致电容最小。

RCmax: W, T, H小, S大,导致电阻最大。

RCmin: W, T, H大, S小,导致电阻最小。

Typical: 标准状态。

结合上一篇文章介绍的Operating Condition,我们可以得出一个大致的corner分布情况:

Setup最差的corner: SSG,高

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