Corner可以分为对晶体管的偏差建模的PVT corner,以及对互联线偏差建模的RC Corner。
PVT Corner用于描述晶体管的全局工艺偏差。RC Corner 用于描述互联线工艺偏差。
PVT corner
PVT corner需要覆盖全局工艺偏差,温度偏差以及电压偏差。
process corner
Lot 与 Lot 之间, Wafer Wafer之间, Die 和 Die之间的工艺的偏差都是全局工艺偏差。全局工艺偏差的差别远大于局部工艺偏差的影响(local process variation)。由于全局工艺偏差的存在,导致CMOS的速度有的快,有的慢。从而导致芯片有快有慢。
Process corner被用于对全局工艺偏差进行建模。
由于全局工艺偏差对CMOS中NMOS, PMOS的影响有所不同,因此按照晶体管的速度,可以分为以下五种process corner:
TT:Nominal
SS:Slow N Slow P
FF:Fast N Fast P
SF:Slow N Fast P
FS:Fast N Slow P
其中常用于