研究介绍了通过电化学阳极化处理改变射频溅射ZnO:Al薄膜表面形貌，以提高硅薄膜光伏器件的光散射能力。在特定酸碱度下，通过电化学处理控制溶解速率，结合化学蚀刻，调整氧化锌薄膜表面形态，提升太阳能电池的光捕获效率和初始效率。实验结果显示，电化学方法对氧化锌薄膜的电性能产生影响，为硅薄膜太阳能电池提供了一种改进前接触层的途径。
书籍：《炬丰科技-半导体工艺》
文章：硅薄膜太阳能电池应用中氧化锌的电化学蚀刻
编号：JFHL-21-1027
作者：炬丰科技
引言
我们提出了一种将具有有益光散射特性的表面形貌引入溅射沉积的氧化锌:铝薄膜的新方法，该薄膜用作硅薄膜光伏器件中的前接触。电化学阳极化用于触发局部溶解，导致界面结构与通常在稀释的盐酸中通过蚀刻步骤制备的结构互补。通过电化学腐蚀条件和电解液的系统变化，评价了设计氧化锌薄膜表面的基本实验参数。用扫描电镜、四点电阻和霍尔测量对制备的薄膜进行了表征。此外，电化学和化学蚀刻步骤相结合，以产生各种不同的表面形态。这种薄膜在微晶硅单结太阳能电池中的应用已显示出良好的初步结果。
实验
大约800 nm厚的多晶ZnO:Al薄膜在垂直直列系统中使用射频(RF)磁控溅射沉积在清洁的玻璃衬底上。该系统由ZnO组成的陶瓷靶制成。沉积在300℃的衬底温度、2W·cm-2的放电功率密度和0.1帕的氩气压力下进行。使用恒电位仪进行了电化学实验，三电极装置，利用铂丝作为反电极和银|氯化银|3 M KCl参比电极，所有给定电位均参考该电极。ZnO:Al覆盖的衬底被切割成块，并且这些被连接作为工作电极。在所有电化学实验中，温度保持恒定在25℃。电化学处理后，在热的去离子水中清洗衬底，以去除源自电解质溶液的盐残留物。
在(30×30) cm2反应器中通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备硅膜。背面接触由来自与正面接触相同系统的溅射沉积ZnO:Al和通过掩模热蒸发沉积的银组成，以确定(1×1) cm2的电池面积。
结果和讨论
氧化锌:铝的阳极溶解。在酸性介质以及碱性介质中，由于锌的两性特性，化学诱导的氧化锌向可溶性络合物的转化以相当高的反应速率进行。然而，在8-10左右的酸碱度下，在没有其他离子贡献的情况下，氧化锌是热力学
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