3D-IC——超越平面 SoC 芯片的前沿技术

“3D-IC”,顾名思义是“立体搭建的集成电路”,相比于传统平面SoC,3D-IC引入垂直堆叠芯片裸片(die)和使用硅通孔(TSV)等先进封装技术,再提高性能、降低功耗和增加集成度方面展现了巨大的潜力。

一、3D-IC技术的背景及优势

3D-IC架构可以在垂直尺度上将多个同质和异质的小芯片/裸片整合在同一设计中,这样就可以使芯片在更小的区域面积下添加更多功能、提高单位性能、提升设计灵活性并降低开发成本。在如今摩尔定律逐渐逼近物理极限的情况下,3D-IC被认为具有“超越摩尔定律”的潜力,有望成为后摩时代下突破SoC集成度、性能等方面瓶颈的关键技术[1]。

图1 (左)chatgpt想象3D-IC示意图;(右)实际3D-IC剖面示意图

从上世纪60-70年代起,就有研究人员探索如何通过堆叠芯片来提升集成电路的性能和密度,虽然当时多层印刷电路板(PCB)已广泛使用,但芯片堆叠技术还在理论阶段,技术工艺尚不成熟。上世纪80年代,2.5D芯片——多芯片模块(MCM)被提出,并为后来的3D-IC铺平了道路。90年代末,层叠封装技术(PoP)开始逐渐应用,但仍属于2.5D-IC阶段。2000年初期,随着硅通孔(TSV)技术的成熟,3D-IC技术进入实际应用阶段,许多学术机构和实验室开始研究如何将TSV应用于芯片堆叠,以提高带宽、降低功耗和增加集成度。这一时期的研究奠定了现代3D-IC技术的基础。2010年代,三星、SK海力士推出了3D-IC的高带宽内存(HBM)和Wide I/O内存,显著提升了芯片带宽和性能[2]。如今,苹果、三星等公司开始在移动设备逐渐加入3D-IC技术,未来,3D-IC有望在更多消费电子、通信和高性能AI计算等领域得到应用,并进一步推动整个集成电路行业的发展。

二、3D-IC的设计流程及其需求与挑战

3D-IC设计流程一般包含系统架构设计、芯片层面设计、TSV规划、热管理设计、先进布局布线、封装和堆叠、仿真验证等设计步骤,虽然目前有多种单一工具可以用来设计3D-IC,但要依靠每个设计团队开发自己的方法来整合流程。因此,如今的3D-IC设计依旧是一项相当大的挑战。当从单一SoC转向多芯片(晶粒)/小芯片架构时,会出现以下四大挑战[1]:

  1. 顶层/系统级的异质设计整合、规划和优化;

3D-IC设计要求整合来自不同功能领域的芯片(例如逻辑、存储器、模拟和射频等),这使得顶层的规划与优化成为设计过程中的一大挑战。设计团队需要从系统级层面考虑如何将这些异质芯片整合,并确保其在功能、功耗和性能方面得到最佳平衡。此外,3D堆叠带来的散热和功耗管理问题更加复杂,要求在设计早期阶段进行全面的系统级优化。由于没有统一的标准工具,设计者通常需要定制开发整合工具来满足不同的设计需求。

图2 系统级 3D 设计整合、规划和优化[1]

  1. 数字、模拟和射频领域的裸片、晶粒、封装和 PCB 的协同设计和协同分析;

3D-IC设计的复杂性在于其需要多领域的协同工作,包括数字、模拟和射频电路的集成。各领域之间的设计需求存在显著差异,例如模拟电路对噪声敏感,而数字电路则注重速度与功耗控制。3D-IC设计要求各个领域的设计团队协同工作,以优化裸片、封装和PCB之间的互连设计。设计人员不仅要考虑每一层芯片的独立设计,还需要跨层面分析信号完整性、时序、功耗等问题。

  1. 设计早期在版图设计前进行热分析;

3D-IC的堆叠结构显著增加了设计中的散热挑战。由于多个芯片层叠加在一起,热量容易在芯片内积累,导致局部过热问题。因此,热管理设计需要在设计的早期阶段就纳入考虑,并且在版图设计之前,必须通过热仿真和分析工具进行准确的温度预测,以确保不会因为过热影响芯片的性能和寿命。如何在不影响设计精度的前提下,在早期阶段实现有效的热分析,是3D-IC面临的一个重要挑战。

(4)一个能将这些技术无缝整合在一起的通用平台。

3D-IC涉及多层次的设计工作,包括芯片、封装和PCB,需要跨越多个EDA工具和流程进行设计和验证。由于工具和流程之间的互操作性较差,设计团队往往需要自定义开发流程来弥合不同设计阶段的差距,导致效率低下并增加设计复杂性。一个能够支持从系统级到制造级全流程整合的平台,将大幅提高3D-IC设计的效率和成功率。

三、3D-IC的现有市场及发展前景

尽管3D-IC设计具有极大的挑战性,但是由于其特有优势和潜力,许多高校和企业纷纷展开相关研究。例如,清华大学集成电路学院在2024 ACM/IEEE第51届年度计算机体系结构国际研讨会(ISCA)上发表了国际首款面向视觉AI大模型的三维DRAM存算一体架构,可大幅突破存储墙瓶颈,并基于三维集成架构特点,实现相似性感知计算,进一步提高AI大模型的计算效率[3]。如图3所示,阿里巴巴达摩院提出了一种具有成熟芯片制造和键合工艺的3D混合键合近存计算实用架构,研发了全球首款基于DRAM的3D键合堆叠存算一体AI芯片,可突破冯·诺依曼架构的性能瓶颈,满足人工智能等场景对高带宽、高容量内存和极致算力的需求。在特定AI场景中,该芯片性能提升10倍以上,能效比提升高达300倍。该工作也被收录于2022年的国际固态电路会议(ISSCC)中[4]。知存科技作为国内存内计算芯片领域的领先企业,量产WTM-8系列移动设备计算芯片,实现了第二代3D存内计算架构,达到更高算力上限,让终端+人工智能生成内容(AIGC)照入现实。

图3 3D堆叠芯片图示、封装交叉图、DRAM 阵列布局和逻辑芯片上的设计块[3]

3D-IC技术是集成电路行业的一个主新兴研究方向,在许多应用领域展现了令人信服的功耗、性能和形状参数优势,并有助于遏制SoC开发成本的攀升,期待未来3D-IC技术可以正式走入我们的生活。

参考文献:

[1]3D-IC设计的挑战和需求,John Park - Cadence白皮书. 

  1. 半导体“高带宽内存(HBM)”芯片技术详解-知乎(zhihu.com).(https://zhuanlan.zhihu.com/p/715041179).
  2. 清华团队发布3D DRAM存算一体架构!-全球半导体观察 (dramx.com).
  3. Niu D, Li S, Wang Y, et al. 184QPS/W 64Mb/mm 2 3D logic-to-DRAM hybrid bonding with process-near-memory engine for recommendation system[C]//2022 IEEE International Solid-State Circuits Conference (ISSCC). IEEE, 2022, 65: 1-3.
T 前言 个人电脑、手机、音乐播放器、游戏系统、相机和flash媒体等消费需求强劲,推动了电子系统市场的爆炸性增长。 这些电子系统的设计和制造是通过将单个集成电路组装成便携的形式因子。 根据摩尔定律,用于制造晶圆形式集成电路的底层半导体技术的突飞猛进,推动了电子系统能力的快速进步。 这本书描述了一种新的基于晶片的技术,它正在蚕食传统的基于二极管的集成电路封装和装配技术,使下一代电子系统。 今天,各种技术竞相为集成电路(IC)产品提供集成各种电子功能的解决方案。 片上系统(SoC)是将一个电子系统的所有组件集成到一个芯片和封装中,是一种具有低功耗的小外形因子。 对于许多应用,SoC不能提供全面的功能和性能; 因此,必须使用已建立的系统内包(system-in-package, SiP)组装技术将其他外设(如内存、传感器和连接收音机)组合到系统中。 sip级集成依赖于多种技术的组合,如线键合、倒装芯片方法、重分布层(RDL)和插入技术。 这些封装技术采用了基于二极管和基于晶片的工艺技术的混合物。 这本名为《3D IC叠加技术》的书描述了一项有望在SiP格式方面带来革命的技术——以一种“超越摩尔”的方式加速电子系统的性能。 该技术要求通过硅vias (tsv)互连集成电路的叠加。 这种基于tsv的叠加技术具有连接长度短、互连密度高、晶体管计数高、阻抗低、功耗低、带宽宽、集成灵活性好等内在优势。 电子系统设计人员得益于灵活的实现方案,允许模对模、模对晶圆或晶圆对晶圆的连接。 三维集成电路码垛技术不仅需要引入创新的工艺技术,而且需要新的设计方法来充分发挥三维集成电路的功能。 这本书把这些技术带到生活中,全面展示了在形成和使用这些革命性结构的挑战。 这项创新技术给电子系统行业带来了巨大的机遇,同时也带来了复杂性。 编辑(Banqiu Wu、Ajay Kumar和Sesh Ramaswami)从设备供应链的两端挑选了一些作者的文章。 这本书以高通公司(Qualcomm, Inc.)的诺瓦克(Nowak)的介绍开始,最后以安科尔科技公司(Amkor Technology)的达沃(Darveaux)等人撰写的关于组装和测试的章节结束。高通公司是一家终端产品和设备设计公司。 在第二章中,高通公司的Radojcic提供了对异构3D集成电路产品设计生态系统的深入了解。 Kawa等人在Synopsys上自然将这一主题引入了设计自动化和支持芯片设计所需的TCAD工具解决方案的基础章节。 在第四章中,来自Applied Materials的Ramaswami阐明了TSV选项,确定了过程集成的挑战,并展示了启用TSV技术的解决方案。 接下来的五章,由来自应用材料的同事们贡献,提供了一个入门的基础和 与tsv相关的单元进程的复杂性。 吴等人对这些问题进行了娴熟的论述。 5)、Park等人(介质沉积-第一章)。 福斯特等人(物理蒸汽沉积-章。 7),Beica (electrodeposition-Chap。 8)、Wang等(化学机械抛光章)。 9) EV集团的Kim等人通过对临时和永久晶圆键合的深入了解完成了单元工艺谱,这两项都是TSV工艺流程的关键要素。 我鼓励所有来自工业、学术界和各种背景(工程、科学和商业)的潜在读者利用本书内容的广泛气息,加深对TSV技术的理解。
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