中心偏差测量方法(自准直成像法)---【光学偏心】

前言与目录

光学中心偏差测量方法;介绍自准直成像法;


1、光学中心偏差测量方法分类

通过查阅文献,以及对比国内外的相关仪器设备,归纳总结出测量透镜中心 偏差的几种基本方法:

图1:中心偏差测量方法分类

中心偏差测量方法基本上分为两类,即干涉测量法和自准直成像法,其中自准直成像法又称为直接测量法。

本篇介绍自准直成像法


2、自准直成像法

根据轴线的选择不同,自准直成像法可以分为静止法和旋转法。

静止法测量透镜中心偏差选择定心仪或中心偏差测量仪的光轴作为测量基准,检测各光学表面球心相对基准轴的偏离量。静止法所要求的作为测量基准的 光轴要具有极高的稳定性,在实际工作中很难达到。

旋转法以精密转台的机械回转轴为测量基准,对仪器自身的基准要求不高。当转台转动时,自准直像点在视场内做画圆运动。通过测量各球心自准直像的画 圆半径就可求得被测透镜的中心偏差。

原理上旋转法的测量精度要高于静止法, 而且旋转法测量对轴系的精度要求没有静止测量法高,因此在大多数情况下,在 光学系统装调中采用旋转法测量。 同样,根据光线传播方式的不同,自准直成像法也可以分为透射式自准直成像法和反射式自准直成像法两种。

(1)、透射式自准直成像法

透射式自准直成像法一般由光源照明分划板,经平行光管成像在无穷远处, 再由被测透镜(样品)成像在其焦平面上,再次经过聚焦透镜、自准直仪最终成像 在探测器上。若被测透镜存在中心偏差,分划板在被测透镜焦平面所成的像将偏 离基准轴。转动被测透镜,则分划板的像会做画圆运动。通过测量轨迹圆的半径 即可求得被测透镜的中心偏差。如图 2 所示,Trioptics公司生产的OptiCentric透射模式即采用这种测量方式。

图2:OptiCentric透射模式工作原理图

透射式自准直成像法测量透镜中心偏差虽然比较简单,但是光束需要透过被测光学元件,应用范围受工作波长的制约,且不能测量只能反射的光学元件;而且透射式测量方法测量的是整个透镜组的偏心情况,不能具体确定是被测透镜的哪一面产生中心偏差。另外,透射式自准直成像法实际上测量的是被测镜组像方主点H′偏离基准轴的距离,如图3所示。

图3:透射式测量原理图

当被测镜组像方主点H′在基准轴上时,分划板在被测镜组焦平面上的像点仍然在基准轴上,如图4所示。这种情况下即使光轴与基准轴的偏离量很大,旋转被测透镜,分划板像点不做画圆运动,此时我们会认为被测透镜已经定好心了, 即所谓“伪定心”现象。

图4:伪定心示意图

(2)、反射式自准直成像法

反射式自准直成像法是一种灵敏度高、原理可靠的中心偏差测量方法,也是 一种应用最为广泛的方法。一般情况下,自准直成像法测量透镜中心偏差需要依 靠放大光学系统对自准直像进行观测。根据放大光学系统即测量头工作原理的不同,又可分为镜头切换法、变焦法和内调焦法等。

反射式自准直成像法具有代表性的是 Trioptics 公司研制的 OptiCentric 系列定心仪,在反射模式下其测量头由聚焦透镜和自准直仪组成,聚焦透镜可以由不同 焦距的镜头进行切换,其工作原理如图 5 所示。

图5:OptiCentric反射模式工作原理图

被光源照明的分划板经自准直仪、聚焦透镜成像在被测光学表面的球心处。 该球心像经被测镜面反射逆向通过聚焦透镜、自准直仪,最终成像在探测器CCD 上。如果被测光学表面存在偏心,当被测透镜随转台旋转时,分划板在探测器CCD上的像作画圆运动,轨迹圆的直径与被测镜面的中心偏差有关

c=\frac{D}{4\beta}

其中c表示被光学表面的中心偏差,D表示分划板像的轨迹圆直径,β表示由聚焦 透镜和自准直仪组成的放大系统的放大倍率。若已知放大系统的放大倍率β,通 过探测轨迹圆直径D即可求得被测镜面的中心偏差。

变焦法指定心仪测量头为一变焦光学系统,通过改变测量头的焦距改变分划 板的聚焦位置,从而使测量头适用于不同曲率半径的被测表面。变焦法在一定范 围内可以进行焦距连续变化,使用较为方便,但是其系统结构比较复杂,成本较高,且存在一定的观测盲区。

内调焦法通过改变内调焦物镜的物距改变聚焦点位置。内调焦法可以在较大范围内实现对聚焦点位置的连续调节,且系统结构简单,较少的镜片就可以实现,所需成本低。图 6 为内调焦法基本光学结构示意图。

图6:内调焦反射式自准直成像法原理图

反射式自准直成像法测量的是被测光学表面球心位置。因此,为确定被测透 镜整体的偏心状态还要确定透镜另一个光学表面的球心位置。于是在内调焦原理 上进行改进得到可进行双面测量的结构,如图7。(a)使用两组半透镜 作为内调焦物镜,分别测量被测透镜的上下两个表面的中心偏差;图(b)使用 口径不同的两个大小物镜,其中大口径物镜中心挖孔,用此两组物镜分别测量被 测透镜的上下两个表面的中心偏差。

图7:可进行双面测量的两种结构


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