半导体物理 第十章 半导体表面与MIS结构

原创 于 2025-03-24 22:01:00 发布 · 1.8k 阅读 · 13 ·
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表面态概念

表面的特殊性

周期性势场中断；易受损伤，氧化，玷污；需要特殊保护措施；表面是制备器件的基础，如MOSFET。

理想表面

周期性势场规则中断，且外部势场为真空势。

理想一维晶体表面：每个裸露原子上面有一个悬挂键（未配对电子）。

真实表面

真实表面有自然氧化层，使表面态密度降低。

表面态密度有施主型和受主型。

表面电场效应

空间电荷层

半导体表面产生电场起因：外加偏压，功函数差，电荷（固定电荷、界面态等）。

半导体表面电荷应该分布在表面一定厚度中，这就是空间电荷层。

在这里插入图片描述

空间电荷层中的泊松方程

在这里插入图片描述

半导体表面电场、电势和电容

在这里插入图片描述

半导体表面层的五种基本状态

  1. 多子积累状态
  2. 平带状态
  3. 耗尽状态
  4. 反型状态
    1. 弱反型状态
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