Silvaco学习笔记(十五)——提取电子浓度(electron concentration in empty/full well )

文章介绍了三种提取电子浓度的方法,包括使用extract语句、tonyplot的integrate操作以及先用extract提取曲线再用Integrate求解。通过对器件结构ccdex01_2.str的处理,发现不同方法得到的结果接近,验证了tonyplot可能会影响数据精度。
摘要由CSDN通过智能技术生成

花了好长时间才解决下述问题,现记录一下。

三种提取电子浓度的方法

1.利用extract语句[1]提取到的电子浓度和

2.用来源器件结构cutline之后tonyplot的integrate[2]

3.利用extract语句直接提取曲线[3],再进行integrate操作

来源器件结构:ccdex01_2.str

[1]extract语句:

#extract electron concentration in full well (1.0e4 is to scale into I/cm^3)
extract init inf="ccdex01_2.str"#导入器件结构源文件
extract name="n_in_full_well" 1.0e+4*area from curve(depth,n.conc material="Silicon" 
        \mat.occno=1 x.val=1.0) 
#提取电子浓度随深度变化曲线和depth轴形成的面积再×1e4,即为full_well中的电子浓度

提取结果:

EXTRACT> init inf="ccdex01_2.str"
EXTRACT> extract name="n_in_full_well" 1.0e+4*area from curve(depth,n.conc material="Silicon" mat.occno=1 x.val=1.0)
Extracting existing "Electron Conc" from structure, no re-calculations required
n_in_full_well=5.29832e+017   X.val=1

[2]tonyplot的integrate操作

步骤1:tonyplot显示器件结构源文件ccdex01_2.str

如上图,可直接将该文件拖入tonyplot

①得到器件结构中电子浓度分布 

右键->display->选中contours(第四个)->点击左下角Define

在Quantity中选择Electron Conc,点击OK

 

 ②在器件结构中Cutline(x=1)

在Tools里选择Cutline 

 在Cutline设置框里选择第六个,输入XY坐标,然后点击Create

 

 ③求积分(曲线和横轴之间的面积)

点击右侧图形,选中它,然后点击Tools,选中Integrate

 点击Blue line的上下按钮,选中全部面积

 最终结果是:5.29776e13*1e4=5.29776e17

提取结果: 5.29832e+017

和提取结果接近。

好奇怪,我之前用这种方法算出来和extract得到的结果偏差很大,这次居然对了?

[3]先用extract语句提取目标曲线,再用Integrate操作求解

#extract electron concentration in full well (1.0e4 is to scale into I/cm^3)
extract init inf="ccdex01_2.str"
extract name="电子浓度" curve(depth,impurity="Electron Conc" material="Silicon" \
        mat.occno=1 x.val=1) outfile="curve2.dat"
 

将curve2.dat拖入tonyplot,如下图:

 和[2]②③步骤相同,可得结果:

 5.29833e13*1e4=5.29833e17与[1]结果5.29832e17几乎相等,也证明了tonyplot显示的时候会可能会损失数据真实性。

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