《超高精度机械设计基础》——第一章 介绍 1.1什么是超高精度

以下内容翻译自《Foundation of ultra-precision mechanism design》,笔者水平有限，将就看。
介绍
本书会通过介绍一些传统的工程工艺，不断的解释“超高精度工程”这个概念。我们会通过把一些技术实例和自然生态系统进行比较，来演示这个维度下的基本自然工程与纳米技术的关系。本章也会通过复习仪器和测量学的知识来给读者提供一些全书会用的一些专业术语。
1.1 什么是超高精度
从工程的角度来看，高精度加工制造是为了提高产品的性能而对加工技术和工艺技术的提高。这种对精度的驱动来自于工业的大幅度进步。在近半个世纪以来，机械工具的精度大幅度提升。如今，一些工件的加工精度（用工件尺寸和可容忍误差的比来表示）已经达到了100000倍甚至更多。与上世纪早期的工艺相比，这差不多是1000倍的提升。当然，现代科学家正在用非常规方法设计建造更高精度的机器。这些科学家的工作表明了，测量仪器的进步同时也促进了加工工件的精度提升。Hume在1980年从他的角度给我们回顾了现代高精度工程的早期发展历程。

其实通过和其他科学技术的进步相比，高精度工程的发展速度十分缓慢。这是由于机械工艺在精度方面难以快速大幅度的提升。因为要想实现高精度，在机械设计方面需要尤为的小心谨慎，有时候甚至需要用到迄今为止在传统工程实践中还没设想过的技术。一些前卫的设计想法的实现有时候需要等到一些材料发展到能达到相关性能才行。当公差和工件尺寸一步步缩小，我们之前习以为常的一些假设不再成立，并且还会出现新的挑战。为了对超高精度有个清楚的概念，请看图1.1

该图把生态系统和一些尺寸进行了对比。苍蝇的尺寸大概在10mm量级，卵子作为人体最大的细胞，肉眼也是可见的。当我们再进一步观察其他细胞，例如红细胞（在微米量级um），就很难通过视觉或者触觉感受了，此时我们已经达到了大多数加工中心的加工精度极限。在微米量级，我们需要完全依靠测量仪器的使用来检测是否有微米量级的物体或者运动存在。传统工程和高精度工程的界限就是在微米量级处。

在微米以下我们就会渐渐发现传统测量方法的不足，手持测量设备例如微米尺越来越难以测量这么小的尺寸。实验室显微镜局限于可视光的横向分辨率（我也搞不懂这句话）。材料相关的性能例如热膨胀以及在轻微负载下的材料变形都会让你的测量无效。正是如此在0.1um量级的微电子工艺必须按照规定流程来执行。再往下到几十纳米量级，大约是病毒和一些大分子的尺寸，此时我们正在往最强大的测量工具的极限进发。扫面电子显微镜、光学抛光机器、衍射光栅刻画机这些机器都在约10nm处开始无效。但是，生活中有太多的例子，大量的工程零件需要达到这个级别的精度要求。例子包括量块、柴油喷射器以及类似的液压零部件、高速轴承以及视频镜头的主轴、磁性读头、力探针、光学镜头以及用于塑料镜片的模具。

除了一些特殊的应用，很难用传统的方法去实现如此高精度的要求。但是Richard Feynman在1961年指出，在实现超高精度这件事情上人类还有很大进步空间。也许是时候放弃传统的工程方法和思路，回到物理学基本模型的根本上来，从原子层面向上开始设计。这就是被一些机构所说的纳米技术，尽管我们更喜欢让纳米技术包含0.1纳米至100纳米的范围，但无论怎么定义，从机械层面上讲最终都是在往超高精度范畴进行努力。

工程应用的精度极限到底在哪？如果必须要创造一个人造物体出来，那么原子的尺寸便是物理尺寸和公差的极限。但是我们知道，要创造一个原子精度量级的物体，我们需要比这个精度高十倍甚至一百倍的测量和位移工具。在后面我们还会看到，有些领域需要更加疯狂的精度要求。碳4+晶体的直径是0.15nm，结合一些碳、氧、氢、氮原子可以形成用来组成蛋白质的大概一个纳米长的氨基酸分子。在这个精度范围恰恰是x光学、电子层结构以及光电设备的公差范围。放大一个数量级我们回到病毒的尺寸范围，这是视频镜头以及许多实际工程器件加工必须满足的公差范围。并且在这个精度范围下，一些脆的材料经常展现出韧性；边界润滑膜厚度也会被观测到；衍射光栅以及光腔干涉仪的误差会严重影响性能；表面粗糙度开始影响平面的反射率。Franse在1990年认为“传统的制造技术在几百纳米这个量级下才会变得可行。”

在次纳米级的机械行为中例如移动，加工，结合会变得跟生物学化学越来越难以区分。纳米技术的激励很大程度上来自于这是一个可以影响到科学和工业各行各业的独立的一个学科。工程器具正在快速的发展以满足纳米层面工作的需求（下面是一些例子我这里懒得翻译了）。

超高精度工程学包含了科学仪器的制作，本书着重于公差在纳米级以及次纳米级的机械结构的设计，同样的设计方法在公差没这么严格的条件下也适用。本书也会带着讲解为什么设计方法进化成现在这个样子，本书研究的技术不仅仅包含对微小位移的直接控制，同时也包括纳米级别的扰动会带来严重误差的力驱动器，微型设备以及探头。（这段笔者翻译能力实在有限）

本书研究仪器和设备，前者主要指用来在不影响生产行为的前提下监控进程状态的设备或系统，后者主要指带来可控变化的设备或系统。说白了仪器负责测量，设备负责控制运动行为。