书籍:《炬丰科技-半导体工艺》
文章:处理硅和氮化物膜的技巧
编号:JFKJ-21-294
作者:炬丰科技
保持膜面朝上
如果膜面朝下放在一个表面上,就有可能膜或表面会破裂将会被污染。建议薄膜始终保持面朝上。区分蚀刻凹坑(后面)和膜(前面)之间的区别很容易用眼睛分辨出来。不同的是下面的插图。
在可能的情况下,选择设备的边缘轻轻挤压胶囊正对的部分,从包装中取出膜(见右图)。小心不要触碰中心膜。
薄膜一旦从包装中取出,就应该放在干净的表面上(例如清洁室擦拭)和拾起的边缘只(见左图)。
使用干净柔软的镊子工作
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