怎么测氧化硅厚度​？

知识星球（星球名：芯片制造与封测社区）里的学员问：请问怎么测氧化硅厚度？有哪些推荐的机台厂家？

氧化硅薄膜可以通过哪些工序能制得？

热氧化：干氧，湿氧，

CVD： LPCVD， PECVD， HDP-CVD， ALDPVD：蒸镀，溅射旋涂法：SOG
等等
氧化硅的应用及物化性质？
将之前的文章：《》 怎么测氧化硅厚度？
一般用椭偏仪（Ellipsometry），当然还有其他方法就不一一介绍。椭偏仪通过测量光波通过样品时偏振状态的变化来确定薄膜的厚度和折射指数。优点是非接触性测量，能提供高精度的薄膜厚度信息。 有哪些椭偏仪厂家?
国外：J. A. Woollam，Horiba，Sentech，Semilab，Scitek等国产：颐光科技等

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