GaN HEMT中短沟道效应的建模

本文提出了一种基于电荷的解析模型,详细估算GaNHEMT中的短沟道效应,包括DIBL、CLM和速度饱和。模型扩展了EPFLHEMT模型,通过2D分析捕捉势能分布,与TCAD和实验数据一致,推动短沟道GaNHEMT在高性能应用中的设计优化。

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来源:Modeling of Short-Channel Effects in GaN HEMTs(TED 20年)

摘要

在本文中,我们提出了一种用于估算GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)器件中短沟道效应(SCEs)的显式和解析的基于电荷的模型。该模型源自洛桑联邦理工学院(École Polytechnique Fédérale de Lausanne,EPFL)HEMT模型的物理电荷基础核心,该模型将HEMT视为广义MOSFET。本文的主要重点是通过有效捕捉二维沟道电势分布来估算SCEs,包括计算减少的势垒高度、漏致势垒降低(Drain-Induced Barrier Lowering,DIBL)、速度饱和和沟道长度调制(Channel Length Modulation,CLM)。该模型经与TCAD模拟结果验证,并在所有工作区域内与测量数据相符。这标志着利用AlGaN/GaN异质结构设计高频和超低噪声HEMT器件迈出了关键的一步。

关键词:AlGaAs/GaAs高电子迁移率晶体管(HEMT)、AlGaN/GaN HEMT、沟道长度调制(Channel Length Modulation,CLM)、基于电荷的洛桑联邦理工学院(EPFL)HEMT模型、漏致势垒降低(Drain-Induced Barrier Lowering,DIBL)、短沟道效应(Short-Channel Effects,SCEs)、速度饱和。

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