【氮化镓】GaN 器件的高温运行

《High Temperature Operation of E-Mode and D-Mode AlGaN/GaN MIS-HEMTs With Recessed Gates》,由HANWOOL LEE, HOJOON RYU, JUNZHE KANG, 和 WENJUAN ZHU (IEEE高级会员) 四位作者共同撰写,发表在《IEEE Journal of the Electron Devices Society》上。文章主要研究了在高温环境下,增强型(E-mode)和耗尽型(D-mode)AlGaN/GaN金属绝缘体半导体高电子迁移率晶体管(MIS-HEMTs)的运行情况。研究由美国国防高级研究计划局(DARPA)资助。

摘要

通过使用圆形器件结构,有效抑制了关闭状态下的电流,并在400°C时获得了高达10^8的Ion/Ioff比的记录。E-mode设备中使用了原子层刻蚀技术形成门极凹槽结构,实现了稳定的正常关闭操作,直到400°C。D-mode设备在高温操作期间经历了正的阈值电压偏移,并且在冷却到室温后,由于应变松弛,阈值电压发生了变化。而E-mode设备由于在门极下保留了非常薄的

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