测试实验&现场测试
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普通网友
这个作者很懒,什么都没留下…
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Atomic Layer Deposition原子层沉积技术
Atomic Layer Deposition原子层沉积技术 原子层沉积技术(Atomic Layer Deposition)是一种原子尺度的薄膜制备技术。可以沉积均匀一致,厚度可控、成分可调的超薄薄膜。随着纳米技术和半导体微电子技术的发展,器件和材料的尺寸要求不断地降低,同时器件结构中的宽深比不断增加,要求所使用材料的厚度降低至十几纳米到几个纳米数量级。原子层沉积技术逐渐成为了相关制造领域不可替代的技术。其优势决定了具有巨大的发展潜力和更加广阔的应用空间。 原子层沉积技术(ALD)是一种一层一层原子级生长原创 2021-06-11 05:55:05 · 2143 阅读 · 0 评论 -
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