原子层沉积技术
原子层沉积技术
原子层沉积,ALD 是一种适合于研制最新的和前沿性的产品的薄膜制备技术。原子层沉积 ALD 也是一种用于纳米技术研究的有效方法。典型的原子层沉积应用是在各种尺寸和形状的基底上沉积高精度、无针孔、高保形的纳米薄膜。针对目前的市场需要,Beneq 通过提供具有创新性应用和可接受的购置成本的ALD 设备为企业的快速发展提供了必要的条件。
ALD 薄膜技术
ALD 是一种化学气相沉积(CVD)技术。它最初被用于生产纳米结构的绝缘体(Al2O3/TiO2)和薄膜电致发光显示器(TFEL)的硫化锌(ZnS)发光层。得益于ALD 技术的发展,此类显示器在80年代中期开始大规模生产。ALD 技术特有的属性和工艺的高可重复性是促使工业化生产成功的关键因素。
原子层沉积,ALD 是一种适合于研制最新的和前沿性的产品的薄膜制备技术。原子层沉积 ALD 也是一种用于纳米技术研究的有效方法。典型的原子层沉积应用是在各种尺寸和形状的基底上沉积高精度、无针孔、高保形的纳米薄膜。针对目前的市场需要,Beneq 通过提供具有创新性应用和可接受的购置成本的ALD 设备为企业的快速发展提供了必要的条件。
ALD 是一种化学气相沉积(CVD)技术。它最初被用于生产纳米结构的绝缘体(Al2O3/TiO2)和薄膜电致发光显示器(TFEL)的硫化锌(ZnS)发光层。得益于ALD 技术的发展,此类显示器在80年代中期开始大规模生产。ALD 技术特有的属性和工艺的高可重复性是促使工业化生产成功的关键因素。
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技术特点
ALD 是一种适合于产品创新和改良的技术。其他现有技术无法经济高效地,甚至根本无法实现的薄膜和材料特性,通过ALD 技术