固态LiDAR,半固态混合LiDAR,机械LiDAR
- APD/SPAD
2轴MEMS扫描镜+ SPAD图像传感器在混合固态LiDAR中的应用
APD的工作模式分为线性模式和盖革模式两种。当APD的偏置电压低于其雪崩电压时,对入射光电子起到线性放大作用,这种工作状态称为线性模式。在线性模式下,反向电压越高,增益就越大。APD对输入的光电子进行等增益放大后形成连续电流,获得带有时间信息的激光连续回波信号。当偏置电压高于其雪崩电压时,APD增益迅速增加,此时单个光子吸收即可使探测器输出电流达到饱和,这种工作状态称为盖革模式。工作在盖革模式下的APD又被称作SPAD。
APD工作在盖革模式下,单个光子即可使其工作状态实现开、关之间的转换,形成一个陡峭的回波脉冲信号,因而具备单光子成像的能力。种光电探测器的灵敏度极高,探测距离理论上可以非常远,三千公里都不成问题,若干年前就已在军事领域(隐形飞机、导弹系统)大有所为。APD的盖革模式非常适合用在LiDAR。
APD在线性模式和盖革模式下的光子探测能力比较
2. MPPC
MPPC是一种俗称硅光电倍增管(Silicon Photomultiplier,SiPM)的新型光半导体器件,根据其原理可称多像素光子计数器(Multi-Pixel Photon Counter,MPPC)。由多个工作在盖革模式的APD阵列组成,具有高增益、高探测效率、快速响应、优良时间分辨率和宽光谱响应范围等特点。
当MPPC中的一个像素接收到一个入射光子时,就会输出一个幅度一定的脉冲。多个像素如都接收到入射光子,则每个像素都会输出一个脉冲,这几个脉冲最终会叠加在一起,由一个公共输出端输出,以此达到更大的增益。
相比APD,MPPC的增益可达到105~106,这样在理论上,可以在更短的时间内得到更长的距离信息,探测带宽也与APD不相上下。另外,拥有小而有效面积、更多像素结构的MPPC不仅具备较快的时间特性(上升时间仅1纳秒左右),还可利用它独特的光子分辨能力,将不同表面反射率的物体识别出来,从而达到测距同时分辨物体表面特性的目的。从这些性能上来看,MPPC非常适合脉冲测距法的应用,自动驾驶上一维激光雷达的理想“小伙伴”。
滨松正式发布了最新的近红外MPPC研制成果,推出了红外增强型MPPC S13720系列。其在905纳米处具有较高的探测效率,响应速度快,工作温度范围宽,适合各种场合下的激光雷达应用,尤其是使用ToF测距法的长距离测量。
- PIN光电二极管
硅PIN光电二极管成本低,且不易受周围环境光的干扰,但相比APD/SPAD和MPPC,探测距离较短。硅PIN光电二极管的上升和下降时间非常短(通常为10纳秒或更短),非常适合于接收25纳秒数量级的光脉冲。此外,硅PIN光电二极管表现出非常高的线性度,甚至在强光条件下都可以检测到非常小的信号。硅PIN光电二极管可形成一维或二维阵列,可以集成于速度快、无运动部件的2D或3D传感器,从而对物体的存在、位置和速度提供快速且准确的信息。
混合固态LiDAR的企业和研究机构梳理
(1)LeddarTech
LeddarTech公司总部位于加拿大,专注于为自动驾驶汽车和驾驶辅助系统开发自己的LiDAR技术。集成在汽车前大灯中的LeddarTech混合固态LiDAR,视场角60°x 20°,探测距离300米(汽车)、200米(行人)。激光光源通过MEMS扫描镜发射后形成行面阵,对前方物体和路面进行扫描,具有高“距离/功率”比、在能见度较低的情况下完成对目标的探测以及分辨多个目标的能力。
LeddarTech混合固态LiDAR结构示意图
(2)Pioneer
日本著名企业先锋集团(Pioneer),从影碟机技术积累转战LiDAR,从车载娱乐影音、导航延伸到自动驾驶。先锋正在开发一款高性能、紧凑、低成本的3D LiDAR传感器。3D LiDAR采用MEMS扫描镜,具有小孔径透镜的特征,并通过优化光学设计,可以被投入到实际的车载应用中。先锋将向汽车制造商、ICT(信息、通信、技术)相关企业以及日本和海外一些公司提供3D LiDAR样品,预计在2020年投入量产。
先锋发布的使用MEMS扫描镜的3D LiDAR
(3)Cepton
Cepton成立于2016年,总部设在美国硅谷,由四位来自斯坦福大学背景、并有丰富经验的半导体行业老兵创立。Cepton的技术比较特殊,团队成员称其技术与MEMS扫描镜是最相近的,但又不是MEMS扫描镜,而是采用Micro-motion(微动原理),并且自己开发了微动器件。这家公司比较神秘,相关的专利还未到公开的时间(专利申后需18个月才公开)。不过麦姆斯咨询认为Cepton虽然未使用MEMS扫描镜,但仍然采用微动技术的半导体芯片,依然属于混合固态LiDAR大军。究其具体技术,或许明年就可以揭开神秘的面纱。
Cepton HR系列LiDAR产品
(4)Draper
Draper是一家美国非盈利性研发组织,总部位于美国马萨诸塞州的剑桥,其官方名为“The Charles Stark Draper Laboratory, Inc”。研究组织专长于设计、开发并应用先进技术解决方案,以解决国家安全、太空探索、健康医疗和能源领域的各种问题。其开发的一款混合固态LiDAR传感器采用MEMS扫描镜技术,预计在规模量产后,成本仅需50美元。这款LiDAR传感器将具有300米的探测距离,角分辨率小于0